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        安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

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        智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備

        智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備
        • 品牌:貝意克
        • 產(chǎn)地:安徽合肥
        • 關(guān)注度:420
        • 型號(hào):BTF-1200C-III-3D-CVD-D210
        • 報(bào)價(jià):面議
        • 信息完整度:
        核心參數(shù)
        • 非金屬電熱元件:其他
        • 金屬電熱元件:鐵鉻鋁絲
        • 燒結(jié)氣氛:其他
        • 溫控精度:±1℃
        • 最高溫度:800℃
        • 額定溫度:≤800℃
        產(chǎn)品介紹

        一、設(shè)備組成

        此款定制智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備包含主要由七大部分,進(jìn)料腔,大口徑管式爐、出料腔、推拉機(jī)構(gòu)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、以及自動(dòng)化控制軟件組成。

        1、進(jìn)料腔:

        進(jìn)料腔密封腔體采用石英管,兩端采用橫向法蘭密封;進(jìn)料腔左側(cè)法蘭上配有一個(gè)φ16mm的推料桿,可以實(shí)現(xiàn)真空或惰性氣體保護(hù)下推送載具進(jìn)入高溫爐內(nèi);進(jìn)料腔右側(cè)法蘭通過(guò)氣動(dòng)插板閥與高溫爐鏈接和隔斷,可以實(shí)現(xiàn)進(jìn)料腔和高溫管式爐相互獨(dú)立工作,互不干擾。

        2、高溫生長(zhǎng)爐:

        大口徑管式爐采用優(yōu)質(zhì)電阻絲加熱,**使用溫度可達(dá)1100℃,加熱區(qū)長(zhǎng)度為300+300+300mm,采用3段控溫且每段上下兩點(diǎn)控溫的方式,可有效提高溫差均勻性;同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能,大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。

        3、出料腔:

        出料腔密封腔體采用石英管,兩端采用橫向法蘭密封,出料腔右側(cè)法蘭上配有一個(gè)φ16mm的拉料桿,可以實(shí)現(xiàn)真空或惰性氣體保護(hù)下從高溫爐內(nèi)將載具拉入出料腔內(nèi)降溫冷卻;出料腔左側(cè)法蘭通過(guò)氣動(dòng)插板閥與高溫爐鏈接和隔斷,可以實(shí)現(xiàn)出料腔和高溫管式爐相互獨(dú)立工作,互不干擾。

        4、推拉機(jī)構(gòu):

        進(jìn)料腔左側(cè)密封法蘭上配有推料桿及軌道;出料腔右側(cè)密封法蘭上配有拉料桿及軌道;可以實(shí)現(xiàn)真空或惰性氣體保護(hù)下將載具推送進(jìn)高溫爐或?qū)⑤d具拉離高溫爐。

        5、供氣系統(tǒng):

        供氣系統(tǒng)包含3部分,進(jìn)料腔配備1路質(zhì)量流量計(jì)惰性氣體供氣裝置,高溫生長(zhǎng)爐配備1路質(zhì)量流量計(jì)惰性氣體混氣裝置,出料腔配備1路質(zhì)量流量計(jì)惰性氣體供氣裝置;共計(jì)5路質(zhì)量流量計(jì)。

        6、真空系統(tǒng):

        進(jìn)料腔配備1套機(jī)械泵(機(jī)械泵抽速16m3/h、型號(hào)DRV-16),高溫生長(zhǎng)爐1套機(jī)械泵(機(jī)械泵抽速24m3/h、型號(hào)DRV-24),出料腔配備1套機(jī)械泵(機(jī)械泵抽速16m3/h、型號(hào)DRV-16),以及真空計(jì)、手動(dòng)擋板閥、波紋管等連接件共計(jì)3套。

        7、觸摸屏控制系統(tǒng):

        采用觸摸屏自動(dòng)控制,參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,參數(shù)自動(dòng)記錄保持,一鍵操作。


        二、技術(shù)參數(shù)

        額定功率

        18KW

        額定電壓

        AC380V 三相五線(xiàn)制進(jìn)線(xiàn)開(kāi)關(guān)3P40A

        **溫度

        800℃

        持續(xù)工作溫度

        ≤800℃

        推薦升溫速率

        ≤10℃/min

        加熱區(qū)尺寸

        150+300+150mm

        控溫方式

        模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

        控溫精度

        ±1℃

        加熱元件

        電阻絲

        控溫

        K型熱電偶

        冷卻水配置

        水流量≥6L/min

        氣源配置

        氣缸動(dòng)力氣 0.45~0.6Mpa ≥300L/min;工藝氣體0.1~0.3Mpa

        爐體尺寸

        爐體:6150*860*1900mm

        設(shè)備凈重

        850KG


        問(wèn)商家

        • 智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備的工作原理介紹?
        • 智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備的使用方法?
        • 智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備多少錢(qián)一臺(tái)?
        • 智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備使用的注意事項(xiàng)
        • 智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備的說(shuō)明書(shū)有嗎?
        • 智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備的操作規(guī)程有嗎?
        • 智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎?
        • 智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備有現(xiàn)貨嗎?
        • 智能型連續(xù)進(jìn)出料CVD設(shè)備包安裝嗎?

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        工商信息

        企業(yè)名稱(chēng)

        安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

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        91340100591423143H

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        安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。公司歷經(jīng)十余年的艱苦創(chuàng)業(yè)已由當(dāng)年的行業(yè)追隨者發(fā)展成為今天的行業(yè)領(lǐng)跑者。 公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有一流的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專(zhuān)業(yè)研發(fā)隊(duì)伍,累計(jì)獲得**200余項(xiàng)。并通過(guò)產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開(kāi)大學(xué)等多所知名院校建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地 公司專(zhuān)注于新材料裝備工藝開(kāi)發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門(mén)類(lèi)

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