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一、產(chǎn)品特色

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配S型熱電偶，單點控溫；設備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應管

2、氣路系統(tǒng)可精確控制4路氣體按不同流量進行混合配比，另外單獨2路氣體可精確控制進入蒸發(fā)器中作為載氣參與反應。氣路管路及閥門，精工件都采用316L材質(zhì)。

3、反應管組件

反應管組件使用耐高溫剛玉管，石英管兩端安裝可旋轉(zhuǎn)磁流體，采用步進電機驅(qū)動進行旋轉(zhuǎn)。

4、射頻組件

大功率射頻發(fā)生器，配合石英反應管可使整個實驗腔體都處于輝光區(qū)域，反應均勻。

5、蒸發(fā)系統(tǒng)

采用可控溫油浴加熱配合保溫伴熱的形式，確保蒸發(fā)源有足夠的反應溫度

6、真空系統(tǒng)

雙真空泵聯(lián)動結(jié)構，配合尾氣中和罐，可對實驗產(chǎn)生的尾氣進行處理

7、智能控制系統(tǒng)          

采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。

二、技術參數(shù)