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產(chǎn)品特色

一：電氣控制及爐膛安裝

電氣控制采用控溫儀表與觸屏組合操控，其控溫精確且操作直觀簡(jiǎn)便。儀表及觸屏均采用國(guó)內(nèi)**品牌，質(zhì)量精確可靠。

五段爐膛溫區(qū)長(zhǎng)度100+200+200+200+100mm，爐膛間格擋較常規(guī)爐膛格擋減薄，5點(diǎn)控溫，利于溫區(qū)間的精確控制，爐膛可以開(kāi)啟，并裝有散熱風(fēng)扇，使降溫更快。

二：真空管路和法蘭

1：左端法蘭：

    左端法蘭采用可滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，使?fàn)t管拆卸清洗簡(jiǎn)單方便，爐管與法蘭之間采用聚四氟墊片填充縫隙，減少污染源，另配有KF16接口（預(yù)留接口）。左端經(jīng)氣動(dòng)插板閥連接手套箱。

2：右端法蘭：

右端法蘭采用簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，配有旁抽截止閥+KF16（預(yù)留接口）+直抽CF100接口。

3：真空管路

右端法蘭裝有全量程真空計(jì)，CF100接口連接冷阱，冷阱容積約1.5L，冷阱前端連接氣動(dòng)插板閥，后端連接分子泵。

4：連接手套箱部分：左端法蘭經(jīng)氣動(dòng)插板閥連接手套箱部分。

三：流量控制

本設(shè)備按配備有一路質(zhì)量流量計(jì)，量程5000sccm，采用國(guó)內(nèi)**品牌，質(zhì)量精確可靠。氣體經(jīng)流量計(jì)后從左端法蘭的進(jìn)氣口進(jìn)入，使氣流對(duì)升華材料的影響降到*低。

四：外觀

    本設(shè)備結(jié)構(gòu)采用承重框架結(jié)合鈑金包圍形式，顏色采用時(shí)尚高光白，設(shè)備簡(jiǎn)潔時(shí)尚又不乏穩(wěn)重，更具備操作直觀方便、控溫精確、真空優(yōu)良等性能。重框架采用模塊式組裝結(jié)構(gòu)，拆卸組裝十分方便，利于狹小空間的運(yùn)輸與安裝。

技術(shù)參數(shù)