安徽貝意克設備技術有限公司
已認證
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產(chǎn)品特色
1、三段電阻絲加熱爐,加熱溫區(qū)300+300+300,上下6點獨立控溫,溫場均勻性好;
2、設備兩端配有磁流體密封法蘭,確保爐管能在真空條件下進行轉(zhuǎn)動;
3、設備配有螺旋上料機構,上料電機轉(zhuǎn)速可調(diào),可自由調(diào)節(jié)上料速度;
4、智能一體化工控屏顯示控制,操作界面簡潔,方便使用。
設備組成
本臺定制回轉(zhuǎn)CVD設備,可實現(xiàn)一次加3L粉料進行生產(chǎn);從結(jié)構上共分成主體設備、上料機構、收料機構三大模塊。
一、主體CVD設備
主體CVD設備主要包含加熱系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、爐管回轉(zhuǎn)機構。
1、加熱系統(tǒng):三溫區(qū)加熱爐膛,溫區(qū)長度300+300+300mm,總加熱功率12KW??販責犭娕紴镵型熱電偶,每段溫區(qū)爐膛上下各1個控溫點獨立控溫,提高爐膛溫場均勻性。
2、氣路系統(tǒng):6路工作氣體,分別由5個D07-19B 500sccm N2和1個CS200A 500sccm N2質(zhì)量流量計控制進入混氣罐,另外配置1路吹掃氣路,由1個D07-19B 5slm N2質(zhì)量流量計并聯(lián)接入混氣罐之前,可以對整個氣路系統(tǒng)進行吹掃。
3、真空系統(tǒng):采用BSV30真空泵,并配置PCG550真空計檢測腔體真空度。
4、爐管回轉(zhuǎn)機構:采用伺服電機,并配置1:30減速機,保證爐管回轉(zhuǎn)平穩(wěn)。
二、上料機構
上料機構由螺桿送料器、升降機構、滑動滑軌組成,送料前通過搖動渦輪升降器手柄可以調(diào)節(jié)螺桿送料器的送料螺桿的中心高度,與設備法蘭中心高度一致后,鎖緊升降器上方導柱的鎖緊手柄;可左右移動送料螺桿至合適位置進行送料。
三、收料機構
用真空泵將收料桶抽成真空狀態(tài),將收料桿深入設備內(nèi)部物料處,打開收料桿上的球閥,利用真空負壓產(chǎn)生的吸力將物料吸入收料桶內(nèi)。
技術參數(shù)
額定功率 | 15KW(加熱12KW+真空泵1.5KW+電機1.5KW) |
額定電壓 | AC380V 50/60Hz |
**溫度 | 1200℃(<1h) |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min |
爐管尺寸 | 異型石英管 |
加熱區(qū)長度 | 300+300+300mm |
恒溫區(qū) | 600mm |
控溫方式 | 10寸觸控屏控制,模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
爐體尺寸 | 主體設備:2600*960*1500mm 上料機構:1600*600*1500mm |
設備凈重 | 600Kg |
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企業(yè)名稱
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91340100591423143H法人代表
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