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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
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一、設(shè)備簡(jiǎn)介
BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑軌式CVD系統(tǒng)。該設(shè)備主要分為五大部分：加熱系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，氣體控制供給系統(tǒng)，自動(dòng)控制移動(dòng)系統(tǒng)，控制軟件系統(tǒng)組成。爐膛為440mm溫區(qū)爐膛，配K型熱電偶，單點(diǎn)控溫；加熱爐置于滑軌上，可手動(dòng)在規(guī)定的范圍內(nèi)任意滑動(dòng)到想要的位置并用限位器固定??；氣路系統(tǒng)采用4路流量計(jì)控制，經(jīng)由不銹鋼混氣罐混合，再進(jìn)入左端進(jìn)氣法蘭；左端法蘭端蓋上預(yù)留1路進(jìn)氣口，內(nèi)部有不銹鋼導(dǎo)氣管，可將氣體導(dǎo)入加熱區(qū)位置。該設(shè)備適用于高校研究所以及研發(fā)型企業(yè)使用。
二、技術(shù)參數(shù)
額定功率 | 3KW(加熱爐膛) |
額定電壓 | 220V 50/60Hz |
**溫度 | 1200℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 440mm |
熱電偶 | K型熱電偶 |
控溫方式 | 10寸觸液晶屏觸摸控制，模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
爐體尺寸 | 220*750*1450mm（長(zhǎng)*寬*高） |
設(shè)備凈重 | 300KG |
爐管尺寸 | 高純石英管Φ100*1650mm |
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