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        安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

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        等離子體增強回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)

        等離子體增強回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)
        • 品牌:貝意克
        • 產(chǎn)地:安徽
        • 關(guān)注度:2389
        • 型號:BTF-1200C-S-R-PECVD
        • 報價:面議
        • 信息完整度:
        核心參數(shù)
        • 非金屬電熱元件:其他
        • 金屬電熱元件:鐵鉻鋁絲
        • 燒結(jié)氣氛:真空
        • 溫控精度:±1℃
        • 最高溫度:1200℃
        • 額定溫度:1100℃
        產(chǎn)品介紹

        一、主要特點

        我司研制的回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象

        該款設(shè)備選用特殊形狀(兩頭細中間粗)的石英管作為化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)室;加熱的同時爐管可360度旋轉(zhuǎn),管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉體材料翻炒有助于燒結(jié)得更均勻;而且爐體可左右大角度傾斜,方便進出料,傾斜角度在0~35°可調(diào)。

        此款設(shè)備現(xiàn)廣泛應(yīng)用于低溫石墨烯制備實驗、粉體材料碳包覆實驗。

          

        二、技術(shù)參數(shù)

        加熱爐

        使用溫度

        ≤1200℃

        加熱區(qū)長度

        440mm

        恒溫區(qū)長度

        200mm

        加熱元件

        電阻絲(摻鉬鐵鉻鋁合金)

        控溫精度

        ±1℃

        控溫方式

        7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫,模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

        爐管尺寸

        Φ60*420mm+Φ100*360mm+Φ60*420mm

        爐管轉(zhuǎn)速

        3~13r/min

        傾斜角度

        0~35°

        PE源

        信號頻率

        13.56MHz±0.005%

        功率輸出范圍

        0-500W

        射頻輸出接口

        50Ω,N-type,female

        功率穩(wěn)定性

        ≤5W

        氣路系統(tǒng)

        供氣系統(tǒng)

        高精度質(zhì)量流量計(量程可選)

        準確度

        ±1.5%

        響應(yīng)精度

        ±0.2%

        響應(yīng)時間

        氣特性:1~4sec,電特性:10sec

        工作壓差范圍

        0.1~0.5MPa

        壓力

        ≤3MPa

        連接頭類型

        Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭

        真空系統(tǒng)

        真空系統(tǒng)

        采用KF25系列波紋管和手動擋板閥

        真空度可達10-1Pa

        數(shù)顯真空測試儀可直觀的顯示數(shù)值


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        • 等離子體增強回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)的工作原理介紹?
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        工商信息

        企業(yè)名稱

        安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

        企業(yè)類型

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        安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。公司歷經(jīng)十余年的艱苦創(chuàng)業(yè)已由當(dāng)年的行業(yè)追隨者發(fā)展成為今天的行業(yè)領(lǐng)跑者。 公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有一流的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊伍,累計獲得**200余項。并通過產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開大學(xué)等多所知名院校建立聯(lián)合實驗室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地 公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門類

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