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        安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

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        前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD

        前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD
        • 品牌:貝意克
        • 產(chǎn)地:安徽合肥
        • 關(guān)注度:4116
        • 型號:BTF-1200C-II-SL-400C-PECVD
        • 報價:5-10萬元
        • 信息完整度:
        核心參數(shù)
          產(chǎn)品介紹

          特點及用途:

          前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD BTF-1200C-II-SL-400C是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式,低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點,工藝流程簡單。

          前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD BTF-1200C-II-SL-400C配有前端預(yù)加熱爐,輔助固態(tài)源蒸發(fā),后端為單溫區(qū)加熱爐 ,溫度控制精確,操作簡便,對于氣相沉積,二維材料,等離子處理生長工藝非常合適,也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實驗。

          前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD BTF-1200C-II-SL-400C

          1.與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長溫度更低。

           2.使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫。

           3.設(shè)備特有的zhuan利技術(shù)使得整管輝光均勻等效,均勻生長

           1.加熱系統(tǒng)

          zui高溫度

          1200℃

          使用溫度

          ≤1100℃

          爐膛有效尺寸

          Φ50mm(爐管直徑可根據(jù)實際需要定制)

          爐膛材料

          氧化鋁、高溫纖維制品

          熱電偶類型

          K型熱電偶

          控溫精度

          ±1℃

          控溫方式

          30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定

          加熱長度

          200+200mm

          恒溫長度

          100+100mm

          加熱原件

          電阻絲

          供電電源

          單相,220V,50Hz

          2、預(yù)熱系統(tǒng)系統(tǒng)

          zui高溫度

          400℃

          爐膛有效尺寸

          Φ50mm(爐管直徑可根據(jù)實際需要定制)

          爐膛材料

          氧化鋁、高溫纖維制品

          熱電偶類型

          K型熱電偶

          控溫精度

          ±1℃

          控溫方式

          30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定

          加熱長度

          100mm

          加熱原件

          電阻絲

          額定功率

          800W

           

          3、PE系統(tǒng)

          功率輸出范圍

          0W~500W

          zui大反射功率

          100W

          射頻輸出接口

          50 Ω, N-type, female

          功率穩(wěn)定度

          ≤5W

          諧波分量

          ≤-50dbc

          供電電壓

          單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

          整機效率

          >=70%

          功率因素

          >=90%

          冷卻方式

          強制風(fēng)冷

           

          4、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

          連接頭類型

          雙卡套不銹鋼接頭

          標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

          50sccm,100sccm、500sccm

          (可根據(jù)用戶要求定制)

          準(zhǔn)確度

          ±1.5%F.S

          線性

          ±1%F.S

          重復(fù)精度

          ±0.2%F.S

          響應(yīng)時間

          氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

          工作壓差范圍

          0.1~0.5 MPa

          zui大壓力

          3MPa

          接口

          Φ6,1/4''

          顯示

          4位數(shù)字顯示

          工作環(huán)境溫度

          5~45高純氣體

          壓力真空表

          -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

          截止閥

          Φ6

          內(nèi)外雙拋不銹鋼管

          Φ6

           

          5、低真空機組

          空氣相對濕度

          ≤85%

          工作環(huán)境

          5℃~40℃

          工作電電壓

          280V

          抽氣速率

          32m3/h

          極限真空

          5X10-1Pa(空載冷態(tài))

          工作壓力范圍

          1.01325X105~1.33X10-2Pa

          耐壓值

          0.03MPa

          進氣口口徑

          KF40

          排氣口口徑

          KF40

          連接方式

          采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連


          問商家

          • 前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD的工作原理介紹?
          • 前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD的使用方法?
          • 前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD多少錢一臺?
          • 前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD使用的注意事項
          • 前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD的說明書有嗎?
          • 前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD的操作規(guī)程有嗎?
          • 前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD的報價含票含運費嗎?
          • 前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD有現(xiàn)貨嗎?
          • 前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD包安裝嗎?

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          安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

          企業(yè)類型

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          91340100591423143H

          法人代表

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          安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。公司歷經(jīng)十余年的艱苦創(chuàng)業(yè)已由當(dāng)年的行業(yè)追隨者發(fā)展成為今天的行業(yè)領(lǐng)跑者。 公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有一流的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊伍,累計獲得**200余項。并通過產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開大學(xué)等多所知名院校建立聯(lián)合實驗室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地 公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門類

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