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        半導(dǎo)體晶圓槳葉干燥機KJG

        半導(dǎo)體晶圓槳葉干燥機KJG
        力馬干燥  2023-10-24  |  閱讀:542

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        半導(dǎo)體晶圓槳葉干燥機KJG

        技術(shù)領(lǐng)域
        [0001] 本實用新型涉及干燥機技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種槳葉干燥機。
        背景技術(shù)
        [0002] 槳葉干燥機是一種在設(shè)備內(nèi)部設(shè)置攪拌槳,使?jié)裎锪显跇~的攪動下,與熱載體以及熱表面充分接觸,從而達到干燥目的的低速攪拌干燥器,結(jié)構(gòu)形式一般為臥式,雙軸或四軸。槳葉式干燥器分為熱風(fēng)式和傳導(dǎo)式。
        [0003] 現(xiàn)在對干燥的效率和效果的要求越來越高,傳統(tǒng)直接進行熱風(fēng)的干燥方式已經(jīng)不能滿足需求,尤其是在一些特殊物質(zhì)的干燥上,例如半導(dǎo)體晶圓的干燥。實用新型內(nèi)容
        [0004] 針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實用新型提供了一種干燥效果好的槳葉干燥機。
        [0005] 為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供如下技術(shù)方案:一種槳葉干燥機,包括第一承載臂、第二承載臂、干燥罐、水箱以及接水箱,所述水箱安裝在干燥罐的頂部,所述接水箱安裝在干燥罐的底部,所述水箱的頂部設(shè)有注水口,所述注水口上設(shè)有密封帽,所述干燥罐的前側(cè)設(shè)有第一密封蓋,所述第一密封蓋與干燥罐鉸接,所述干燥罐內(nèi)設(shè)有殺菌裝置、轉(zhuǎn)動軸以及噴淋頭,所述殺菌裝置為紫外線光照燈,所述殺菌裝置安裝在干燥罐的內(nèi)腔頂部以及內(nèi)腔的兩端側(cè)壁上,所述噴淋頭設(shè)有多個,且安裝在干燥罐內(nèi)腔的頂部,所述噴淋頭通過導(dǎo)水管與水箱連通,所述轉(zhuǎn)動軸通過軸承安裝在干燥罐內(nèi)腔的兩端,所述第一承載臂以及第二承載臂內(nèi)均設(shè)有安裝槽,所述第二承載臂的安裝槽內(nèi)安裝有驅(qū)動電機,所述第二承載臂上設(shè)有固定架,所述固定架上安裝有第一減速電機,所述驅(qū)動電機通過傳動齒輪與第一減速電機連接,所述轉(zhuǎn)動軸貫穿干燥罐與第一減速電機連接,所述轉(zhuǎn)動軸上設(shè)有安裝架以及槳葉,所述干燥罐上設(shè)有加熱器以及排氣閥,所述排氣閥內(nèi)設(shè)有抽風(fēng)機以及過濾區(qū),所述過濾區(qū)內(nèi)設(shè)有過濾裝置,所述干燥罐通過排水管與接水箱連通,所述導(dǎo)水管以及排水管上均設(shè)有電磁閥門,所述水箱上設(shè)有排水口,所述排水口上設(shè)有密封端蓋。
        [0006] 進一步的,本實用新型改進有,所述第一承載臂的安裝槽內(nèi)安裝有轉(zhuǎn)動電機以及第二減速電機,所述轉(zhuǎn)動電機通過傳動齒輪與第二減速電機連接,所述第二減速電機上設(shè)有傳動軸,所述傳動軸與干燥罐連接。
        [0007] 進一步的,本實用新型改進有,所述水箱、干燥罐以及接水箱采用鋁鎂合金材質(zhì)。
        [0008] 進一步的,本實用新型改進有,所述密封端蓋通過螺紋桿插入排水口內(nèi),所述密封端蓋的內(nèi)側(cè)設(shè)有密封墊。
        [0009] 進一步的,本實用新型改進有,所述水箱以及接水箱的前側(cè)設(shè)有清理口,所述清理口為矩形結(jié)構(gòu),所述清理口上設(shè)有第二密封蓋,所述第一密封蓋以及第二密封蓋的內(nèi)側(cè)設(shè)有密封邊,所述密封邊上設(shè)有密封墊。
        [0010] 進一步的,本實用新型改進有,所述干燥罐的殼體上設(shè)有導(dǎo)熱層,所述加熱器上設(shè)有儲水腔,儲水腔上設(shè)有導(dǎo)水管與導(dǎo)熱層連通,所述儲水腔上設(shè)有注水孔。
        [0011] 進一步,本實用新型改進有,所述第一密封蓋以及第二密封蓋的底部設(shè)有限位鎖,所述限位鎖包括旋鈕、彈簧、彈簧架、鎖桿以及拉繩,所述鎖桿與彈簧的一端焊接,所述彈簧的另一端與彈簧架焊接,所述彈簧架上設(shè)有通孔,所述旋鈕上設(shè)有線軸,所述拉繩的一端與線軸纏繞,另一端與穿過通孔與鎖桿連接,所述干燥罐、水箱以及接水箱上設(shè)有鎖孔與鎖桿連接。
        [0012] 進一步的,本實用新型改進有,所述過濾裝置包括過濾網(wǎng)以及碳纖維顆粒。
        [0013] 與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型提供了一種槳葉干燥機,具備以下有益效果:
        [0014] 本實用新型通過噴淋頭,噴淋去離子水在待干燥物品的表面進行清洗,同時紫外線光照燈對待干燥物品進行消菌殺毒,在驅(qū)動電機的驅(qū)動下,轉(zhuǎn)動軸帶動安裝架轉(zhuǎn)動,從而帶動待干燥物品轉(zhuǎn)動,提高清洗面以及光照明,從而提高對待干燥物品的清洗以及滅菌效果,當(dāng)干燥罐內(nèi)的去離子水積攢到一定容量時,在槳葉的帶動下攪拌去離子水,從而使去離子水與待干燥物品沖刷清洗,進一步提高清洗效果,待干燥物品清洗干凈后表面無殘留物,相對可增進較佳的干燥效果。


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