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        常州力馬干燥科技有限公司

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        長(zhǎng)度約6.8米氮?dú)饧兓痔紫湓O(shè)備

        長(zhǎng)度約6.8米氮?dú)饧兓痔紫湓O(shè)備
        力馬干燥  2021-04-15  |  閱讀:852

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        長(zhǎng)度約6.8米氮?dú)饧兓痔紫湓O(shè)備

        l  設(shè)備組成:包括不限于手套箱主體、可拆卸帶手套的可視安全玻璃視窗、過(guò)渡艙、氮?dú)庋h(huán)凈化系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、PLC控制顯示操作系統(tǒng)、儲(chǔ)物支架等

        2.手套箱主體規(guī)格

        l  手套箱主體尺寸規(guī)格:長(zhǎng)度約6.8米(實(shí)際長(zhǎng)度以量測(cè)為準(zhǔn));寬度約1米(實(shí)際寬度以手套箱內(nèi)部設(shè)備尺寸位置),高度不能不超過(guò)2米;與真空腔室對(duì)接的手套箱尺寸長(zhǎng)度約1.3米;

        主體材質(zhì): 不銹鋼;

        l  安全觀察窗:配合操作,需要搭配多個(gè)安全觀察窗,安全觀察窗材質(zhì)鋼化玻璃;

        l  安全觀察窗手套接口規(guī)格:數(shù)量以方便操作為主,接口需潤(rùn)滑性好、易于維護(hù)、密封性能好;

        l  手套材質(zhì):丁基橡膠;數(shù)量以實(shí)際需求為主;

        l  照明系統(tǒng):為便于工作,手套箱內(nèi)需有照明系統(tǒng);

        l  電源接口:為便于后期使用,手套箱內(nèi)需預(yù)留電源接口;

        l  壓力計(jì):實(shí)時(shí)監(jiān)控手套箱內(nèi)壓力;

        l  儲(chǔ)物架:普通位置至少2層的擱置物品的支架,材質(zhì)不銹鋼;儲(chǔ)物架可拆卸,不需要的手套箱可以拆卸掉;另外,在連接G13前端的位置處要有8個(gè)可以暫放基板框架的儲(chǔ)存架,儲(chǔ)存架長(zhǎng)寬約35cm*35cm;(細(xì)節(jié)需要討論)

        l  預(yù)留KF40標(biāo)準(zhǔn)接口:每個(gè)工位預(yù)留不少于3個(gè);

        l  設(shè)備顏色:油漆部分不能有脫落、污漬;

        l  不銹鋼支架:帶便于推動(dòng)的萬(wàn)向輪,有調(diào)節(jié)水平的腳座;

        l  備件:5雙備用手套;

        l  過(guò)渡倉(cāng)規(guī)格:按照實(shí)際需求,設(shè)計(jì)大小過(guò)渡倉(cāng),過(guò)渡艙帶壓力表、進(jìn)出氣接口等;過(guò)渡艙與手套箱焊接必須密封;

        l  對(duì)接規(guī)格:(如示意圖)

        a.手套箱需要與前端G11設(shè)備的loadlock-1進(jìn)行對(duì)接,此處我方無(wú)圖紙,需要手套箱廠商根據(jù)實(shí)物自行設(shè)計(jì)圖紙并完成對(duì)接方案;LL-1處已有手套箱,手套箱內(nèi)有3臺(tái)設(shè)備,舊手套箱拆除后,內(nèi)部3臺(tái)設(shè)備需要保留,保留的設(shè)備要放入新手套箱內(nèi),屆時(shí)中標(biāo)的新手套箱廠商要負(fù)責(zé)3臺(tái)設(shè)備的移入和對(duì)接(如管路、線路、信號(hào)等);

        b.手套箱需要與后端G13設(shè)備的loadlock-3進(jìn)行對(duì)接,此處我方有圖紙,需要手套箱廠商根據(jù)實(shí)物和圖紙完成對(duì)接方案;另,LL-3處有傳送基板的滾輪,手套箱廠商需要根據(jù)LL-3的需求,預(yù)留按照滾輪的位置和空間;

        c.手套箱中間部位需要外接真空設(shè)備的loadlock-2,手套箱廠商需要配合真空設(shè)備的法蘭或閘閥完成對(duì)接方案;

        d.手套箱前后對(duì)接的G11設(shè)備和G13設(shè)備已經(jīng)固定,手套箱廠商需要根據(jù)實(shí)際狀況自行設(shè)計(jì)方案,在不移動(dòng)設(shè)備的前提下完成設(shè)備對(duì)接;真空設(shè)備目前采購(gòu)中,會(huì)從示意圖loadlock-2位置進(jìn)行對(duì)接,手套箱廠商要配合真空設(shè)備完成loadlock-2的對(duì)接;

        e.手套箱的主要責(zé)任區(qū)域?yàn)槿缦聢D中的黃色標(biāo)識(shí)區(qū)域。


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