中國粉體網(wǎng)訊 隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更小線寬、更高集成度發(fā)展，第三代半導(dǎo)體材料（碳化硅、氮化鎵等）的廣泛應(yīng)用對精密加工技術(shù)提出了前所未有的挑戰(zhàn)。這些材料的莫氏硬度普遍超過9級，傳統(tǒng)磨料在加工過程中面臨效率低、表面損傷層厚、加工一致性差等難題。
金剛石擁有極高的硬度、很低的摩擦系數(shù)，并且熱導(dǎo)率高、透光波段較廣、半導(dǎo)體性能優(yōu)異、傳聲速率以及化學(xué)惰性高，使得其在超硬材料刀具、耐磨潤滑涂層、高溫高頻電子元器散熱、高性能半導(dǎo)體、高透波率光學(xué)窗口以及聲學(xué)傳感器等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
為了滿足當(dāng)下材料高、精、尖的需求，金剛石顆粒的研究朝著越來越細(xì)的方向發(fā)展。超細(xì)金剛石（Ultra-Fine Diamond，簡稱“UFD”）兼有金剛石本身特性和超細(xì)優(yōu)勢，因其超硬性、良好的生物相容性、優(yōu)異的耐蝕性以及高表面活性與比表面積被廣泛應(yīng)用于切削加工、生物醫(yī)療和超級電容器等領(lǐng)域。超細(xì)金剛石也憑借其10級莫氏硬度、優(yōu)異的耐磨性及化學(xué)穩(wěn)定性，成為突破第三代半導(dǎo)體材料加工瓶頸的關(guān)鍵。
元素六是人造金剛石和碳化鎢超硬材料的設(shè)計、開發(fā)和生產(chǎn)的全球領(lǐng)導(dǎo)者。作為全球超硬材料領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者，E6憑借70余年的合成金剛石研發(fā)經(jīng)驗，推出突破性MicronTM UFDTM 超細(xì)金剛石解決方案，持續(xù)推動半導(dǎo)體制造工藝革新。
E6創(chuàng)新開發(fā)的離心分級技術(shù)實現(xiàn)0.02μm級D50粒徑精準(zhǔn)控制，配合表面功能化處理工藝，有效解決超細(xì)金剛石團聚難題，確保粒徑分布偏差<±5%。通過優(yōu)化顆粒形狀與表面化學(xué)特性，產(chǎn)品在硅、碳化硅、氮化鎵等關(guān)鍵半導(dǎo)體材料的研磨，拋光，切割加工中展現(xiàn)卓越性能：12英寸硅片減薄工藝中，D3.5μ磨料配合專有潤滑劑可實現(xiàn)Ra<0.5nm 的超鏡面效果；針對第三代半導(dǎo)體材料，特殊設(shè)計的納米金剛石懸浮液在保持材料去除速率的同時，顯著提升表面完整性。
E6位于愛爾蘭香農(nóng)的智能化生產(chǎn)基地配備全自動化檢測系統(tǒng)，可提供從0.1μ到10μ的全系列產(chǎn)品定制服務(wù)。目前已為全球Top 10半導(dǎo)體制造商定制23款專用磨料，成功突破多項工藝瓶頸。E6憑借覆蓋合成、分級、改性的全產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)優(yōu)勢，持續(xù)為客戶提供高一致性、高可靠性的精密加工解決方案，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高精度時代。
研磨拋光技術(shù)在集成電路芯片的制作中具有重要作用，針對高端研磨拋光相關(guān)的技術(shù)、材料、設(shè)備、市場等方面的問題，中國粉體網(wǎng)將于2025年4月16日在河南鄭州舉辦2025第二屆高端研磨拋光材料技術(shù)大會。屆時，元素六亞洲戰(zhàn)略業(yè)務(wù)總監(jiān)秦景霞將作題為《超細(xì)金剛石材料助力半導(dǎo)體精密加工升級》的報告。
專家簡介：
秦景霞，畢業(yè)于湖南大學(xué)機械設(shè)計制造及其自動化專業(yè)，深耕于金剛石，立方氮化硼，硬質(zhì)合金等超硬材料的各種工業(yè)應(yīng)用以及前沿應(yīng)用十余年，立足國際領(lǐng)先品牌平臺，借力中國超硬材料制品行業(yè)的產(chǎn)業(yè)集群優(yōu)勢，熟知相關(guān)產(chǎn)品的各類傳統(tǒng)應(yīng)用、前沿應(yīng)用，及各行業(yè)發(fā)展的脈動趨勢。
參考來源：
[1] 元素六官網(wǎng)
[2] 黃曉龍，Si低溫?zé)峤饣罨ò渤?xì)金剛石及性能研究
[3] 張潤川，金剛石動摩擦拋光用拋光盤的制備與拋光性能研究
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林）
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