中國粉體網(wǎng)訊 近日，寧波江豐電子材料股份有限公司發(fā)布公告稱，公司于2025年1月17日與KSTEINC.（以下簡稱“KSTE”）簽署了《關(guān)于靜電吸盤項目之合作框架協(xié)議》（以下簡稱“本協(xié)議”），公司擬向KSTE引進靜電吸盤生產(chǎn)技術(shù)及采購靜電吸盤生產(chǎn)線。
據(jù)悉，KSTEINC.是韓國領(lǐng)先的專業(yè)從事靜電吸盤生產(chǎn)以及相關(guān)的設(shè)備及工藝開發(fā)、集成與安裝業(yè)務(wù)的企業(yè)，掌握了靜電吸盤的設(shè)計、生產(chǎn)和銷售領(lǐng)域的眾多專有技術(shù)和業(yè)務(wù)信息。
靜電吸盤，半導(dǎo)體設(shè)備必“闖”的一關(guān)
在先進的大規(guī)模集成電路制造過程中有著幾百種工藝步驟，晶圓片需要在多達幾百種的工藝設(shè)備之間來回傳輸并進行加工檢測。在加工過程中，晶圓片必須被十分平穩(wěn)、固定地安放在工藝設(shè)備上，靜電卡盤便承擔(dān)了此重任。
靜電卡盤又稱為靜電吸盤（ESC），簡單來說，它是在靜電卡盤里面的電極層和被加工的晶圓片之間施加一個靜電場進而產(chǎn)生一個靜電力使得晶圓片能夠穩(wěn)定的牢牢的固定在靜電卡盤上。目前的靜電吸盤主要采用氧化鋁陶瓷作為主體制造材料，而氧化鋁材料熱導(dǎo)率及相關(guān)機械性能不及氮化鋁陶瓷。因此采用氮化鋁陶瓷替代氧化鋁陶瓷作為靜電卡盤的制造材料已成為趨勢。
與傳統(tǒng)的機械卡盤和真空吸盤相比，靜電卡盤避免了傳統(tǒng)機械卡盤在使用過程中由于壓力、碰撞等機械原因?qū)斐刹豢尚迯?fù)的損傷，減少了顆粒污染，增大了晶片的有效加工面積，同時克服了真空吸盤不可以應(yīng)用于低壓環(huán)境、無法通過背吹氣體對晶片溫度進行有效控制的缺陷。因此，靜電卡盤己經(jīng)取代了傳統(tǒng)的機械卡盤和真空吸盤，廣泛應(yīng)用于集成電路制造工藝。目前，靜電卡盤廣泛應(yīng)用于集成電路制造工藝中，特別是刻蝕、PVD、CVD等核心工藝中。
靜電卡盤從涉及到制造都會面臨很大的困難，首先它內(nèi)部有電極層，甚至有一些靜電卡盤需要有加熱功能，這個內(nèi)部加熱電極層的設(shè)計也是非常重要的；它還要求靜電卡盤對晶圓片的加持力非常均勻，同時它的溫場也要非常均勻。制造方面，它要求結(jié)構(gòu)非常精密，雖然靜電卡盤的厚度不是很高，但是內(nèi)部有很多的功能層，層厚等很多方面都很精細，燒結(jié)過程的多層金屬、陶瓷共燒技術(shù)，高精度加工技術(shù)要求非常高。而且靜電卡盤的表面還要進行凸點設(shè)計和制造，這里也有很高的技術(shù)難度。
江豐電子：全面布局半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件
江豐電子主要專注于超高純金屬濺射靶材、半導(dǎo)體精密零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。近年來，公司抓住芯片制造產(chǎn)線、裝備國產(chǎn)替代、自主可控的重大發(fā)展機遇，充分整合資源、技術(shù)、市場等優(yōu)勢，積極推動半導(dǎo)體精密零部件產(chǎn)品布局，持續(xù)投入半導(dǎo)體精密零部件制造工藝的研發(fā)，現(xiàn)已建成多個半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件智能生產(chǎn)基地，全面布局金屬和非金屬類零部件。2024年上半年，江豐電子營收達16.27億元。其中，精密零部件業(yè)務(wù)營收近4億元，同比增長96.14%，第二季度單季度實現(xiàn)2.24億元，創(chuàng)歷史新高。
近年來，隨著國家加大半導(dǎo)體領(lǐng)域的投入，我國半導(dǎo)體設(shè)備采購額逐年增加，推動了包括靜電吸盤（ESC）在內(nèi)的核心部件的采購量增長。此外，隨著中國大陸晶圓產(chǎn)能的建設(shè)和擴產(chǎn)，中國成為全球晶圓產(chǎn)能增長的重心，帶動國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的需求增長，為國產(chǎn)靜電吸盤（ESC）的發(fā)展提供了良好的機遇。
此次與韓國KSTEINC.合作，引進約定范圍的靜電吸盤產(chǎn)品所需的全部生產(chǎn)技術(shù)并采購相關(guān)生產(chǎn)線，并最終實現(xiàn)江豐電子在中國大陸地區(qū)獨立量產(chǎn)，將會進一步完善公司在半導(dǎo)體精密零部件領(lǐng)域的布局。
參考來源：江豐電子相關(guān)公開資料
（中國粉體網(wǎng)/山川）
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