中國粉體網(wǎng)訊 在半導(dǎo)體與光學(xué)領(lǐng)域中,部分工藝需要使用靜電卡盤(ESC)固定襯底來完成,靜電卡盤通常處于下腔室位置。同時靜電卡盤也可以實現(xiàn)快速加熱以及加載射頻功率調(diào)節(jié)等離子體狀態(tài)的作用。此外靜電卡盤在工藝過程中還具有高穩(wěn)定性、[更多]
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