中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近日,國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,西安奕斯偉材料科技股份有限公司取得一項(xiàng)名為“用于最終拋光工藝的處理方法及拋光晶圓”的專利,可以在對(duì)晶圓表面進(jìn)行前序工藝損傷去除和鏡面化修復(fù)的同時(shí)減少微分干涉對(duì)比缺陷的形成。來(lái)源:國(guó)[更多]
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