推薦化學機械拋光，金剛石襯底材料高效制造的超精密武器

中國粉體網(wǎng)訊 近些年來，化學氣相沉積（CVD）單晶金剛石在電子學領(lǐng)域的應(yīng)用令人矚目，這得益于CVD單晶金剛石在生長技術(shù)和半導體摻雜技術(shù)上的進展。一直以來，成熟的襯底加工技術(shù)是半導體材料得以應(yīng)用的基礎(chǔ)，其中超精密拋光作為晶圓襯[更多]