中國(guó)粉體網(wǎng)訊路新春,華海清科股份有限公司董事長(zhǎng),清華大學(xué)機(jī)械工程系首席研究員。長(zhǎng)期從事納米摩擦學(xué)、納米制造理論與技術(shù)研究,是我國(guó)最早開(kāi)展納米摩擦學(xué)研究的科研人員之一。帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)建立了我國(guó)自主的集成電路化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)體系,研制[更多]
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