中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近日,第二十五屆中國(guó)專利獎(jiǎng)評(píng)選結(jié)果正式揭曉,華海清科股份有限公司“化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)及具有它的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備”斬獲中國(guó)專利銀獎(jiǎng);瘜W(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)技[更多]
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