中國粉體網訊 化學機械拋光(CMP)技術是實現(xiàn)材料全局表面平坦化的重要手段,稀土鈰基磨料因其具有顆粒硬度適中、可與被拋光材料發(fā)生化學反應、可回收性和資源豐富等優(yōu)勢是目前應用最廣泛的CMP磨料。在稀土材料用于拋光粉之前,人們通[更多]
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