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| 玻璃晶圓缺陷檢測設備 | |
| 型號 | NOVA-2000-G |
| 晶圓類型 | 玻璃晶圓襯底、圖形晶圓 |
| 晶圓尺寸 | 4寸、6寸、8寸、12寸(可兼容相鄰尺寸) |
| 檢測方式 | 明場、暗場、微分干涉 |
| 分辨率 | 10μm -0.5μm |
| 鏡頭 | 1X,2X5X,10X,20X,50X |
| 檢測缺陷類型 | 劃痕，麻點，顆粒物，污染，崩邊等 |
| 產率 | ≥12WPH(@8英寸晶圓，分辨率1μm) |
| ≥7WPH(@12英寸晶圓，分辨率1μm) | |
| 自動化 | 2 LoadPort |
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