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 PARKER派克Veriflo部門959W和NPR959W（亞大氣）是超高純氣體分配系統(tǒng)中的重負(fù)荷型壓力調(diào)節(jié)器。束縛式膜片設(shè)計(jì)通過改進(jìn)截止閥提高了使用安全性，降低了高壓減壓的風(fēng)險(xiǎn)。閥座被一個(gè)一體式濾網(wǎng)進(jìn)一步保護(hù)以免被進(jìn)口氣缸污染。這種系列對(duì)于惰性氣體和腐蝕性氣體同樣適用，同時(shí)新穎的壓桿設(shè)計(jì)排除了螺紋造成的污染，進(jìn)一步提高了過程清潔度以及吹掃性能。它是當(dāng)需要嚴(yán)格潔凈、穩(wěn)定、抗漏的制造業(yè)操作時(shí)的理想選擇。

       959W和NPR959W系列與流體接觸的部分由316L不銹鋼構(gòu)成，具有**的防腐蝕性及抗漏能力。閥體內(nèi)部經(jīng)過電解拋光進(jìn)一步提高防腐蝕性。對(duì)于那些更高級(jí)別的防腐蝕性要求，可提供將主要部件（膜片，閥錐，壓桿）用Hastelloy C-22? 哈斯特洛伊C22材料裝飾的選擇。閥座可選擇PCTFE（聚三氟氯乙烯）或Vespel(聚酰亞胺樹脂）材質(zhì)。在進(jìn)口壓力高達(dá)3,500 psig的情況下，這些材料為調(diào)節(jié)器提供了**的防腐蝕性和更大的使用壽命。

       內(nèi)部（閥座）密封及金屬外部密封均采用質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄漏實(shí)驗(yàn)，以獲得其在高要求的超高純應(yīng)用中有出色穩(wěn)定的表現(xiàn)。

       對(duì)于非超高純應(yīng)用，參照959和NPR959系列壓力調(diào)節(jié)器。

市場需求：

? 半導(dǎo)體

? 分析實(shí)驗(yàn)室

? 制藥業(yè)

? 生物制藥業(yè)

? 航天航空

? 工業(yè)

特點(diǎn)/優(yōu)勢：

? 獨(dú)特的壓桿使閥體不依靠螺紋噴嘴就能實(shí)現(xiàn)密封

? 高使用壽命

? 金屬-金屬、膜片-閥體密封以獲得出色的抗漏性能

? 內(nèi)部泄漏率：<2×10 -9 scc/sec He

? 外部泄漏率：<2×10 -10 scc/sec He

? 進(jìn)口壓力可高達(dá)3,500 psig

? 出口壓力從-25 in-Hg到100 psig（NPR959W用于亞大氣壓力控制）

? Cv選項(xiàng)為0.04（std）或0.20

? 15-20 Ra（std）或10 Ra電解拋光表面光潔度

應(yīng)用：

? 腐蝕性及特殊氣體

? 工具連接

? 特氣柜

? 閥箱

? 上游生產(chǎn)線