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        TLX-40碳化硅單晶爐
        TLX-40碳化硅單晶爐

        參考價格

        面議

        型號

        TLX-40碳化硅單晶爐

        品牌

        星特亮科技

        產(chǎn)地

        江蘇

        樣本

        暫無
        星特亮科技有限公司

        高級會員

        |

        第1年

        |

        生產(chǎn)商

        工商已核實(shí)

        留言詢價
        核心參數(shù)
        • 非金屬電熱元件:

          其他
        • 金屬電熱元件:

          其他
        • 燒結(jié)氣氛:

          其他
        • 溫控精度:

          -
        • 最高溫度:

          -
        • 額定溫度:

          -
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        產(chǎn)品型號

        性能參數(shù)

        TLX-40

        TLX-40A

        TLX-41


        1

        結(jié)構(gòu)形式

        單層英管+水冷屏蔽罩

        雙層水冷石英管

        雙層水冷石英管

        2

        晶體尺寸(吋)

        4-6

        4-6

        6-8

        3

        內(nèi)石英管尺寸(mm

        Φ380×1100

        Φ380×1170

        Φ410×1170

        4

        加熱方式

        電磁感應(yīng)

        電磁感應(yīng)

        電磁感應(yīng)

        5

        加熱功率(kw

        60

        40

        40

        6

        加熱頻率(kHz

        8

        8

        8

        7

        **溫度(

        2400

        2400

        2400

        8

        測溫方式

        上、下

        上、下

        上、下

        9

        溫度測控范圍(

        1000-3000

        1000-3000

        1000-3000

        10

        溫度控制精度(

        ±0.5

        ±0.5

        ±0.5

        11

        控溫模式

        功率控制模式

        上部溫度控制模式

        下部溫度控制模式

        功率控制模式

        上部溫度控制模式

        下部溫度控制模式

        功率控制模式

        上部溫度控制模式

        下部溫度控制模式

        12

        爐內(nèi)真空度(Pa

        600E-04

        600E-04

        600E-04

        13

        抽氣速率(mbar*l/s

        800L/s

        800L/s

        800L/s

        14

        漏氣率(mbar*l/s

        5.00E-09

        5.00E-09

        5.00E-09

        15

        線圈升降速度(mm/h

        0.02-2

        0.02-2

        0.02-2

        16

        線圈升降距離(mm

        200

        300

        300

        17

        坩堝升降速度(mm/min

        150

        150

        150

        18

        坩堝升降距離(mm

        ≥1250

        850

        850

        19

        坩堝旋轉(zhuǎn)速度(rpm

        0.1-20

        0.1-20

        0.1-20

        20

        爐蓋開啟方式

        氣動升降

        手動旋轉(zhuǎn)

        氣動升降

        手動旋轉(zhuǎn)

        氣動升降

        手動旋轉(zhuǎn)

        21

        氣體源

        N2/Ar/H2

        N2/Ar/H2

        N2/Ar/H2

        22

        冷卻水壓力(MPa

        0.15-0.2

        0.15-0.2

        0.15-0.2

        23

        冷卻水流量(m3/h

        5

        6

        6

        24

        冷卻水溫度(

        22-26±2

        22-26±2

        22-26±2

        25

        冷卻水質(zhì)

        PH6-8,軟化純凈水

        PH6-8,軟化純凈水

        PH6-8,軟化純凈水

        26

        裝卸料位置

        上、下

        上、下

        27

        整機(jī)控制方式

        全自動

        全自動

        全自動

        28

        主機(jī)尺寸

        1400×2100×3800

        1400×2100×3600

        1680×2200


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        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價比

        10分
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