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半自動晶圓刷洗機 TSC-100品牌
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半自動晶圓刷洗機
TSC-100/300S
該系列設(shè)備是晶圓CMP后的專用清洗設(shè)備，單工位單腔設(shè)計。該系列設(shè)備可集成PVA刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干等功能，集成度高，適用于各類半導(dǎo)體晶圓的CMP后清洗。
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