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主要特點

1、傳動裝置為水冷式：設(shè)計新穎、結(jié)構(gòu)緊湊、系列間通用、互換性強；水冷式機座，散熱效果佳；滾動軸承及傳動齒輪可加潤滑油運行，使用壽命增長3-5倍；

2、旋轉(zhuǎn)裝置為行星旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、據(jù)鍍膜工藝不同，設(shè)計為：公轉(zhuǎn)式、公/自轉(zhuǎn)式；

3、采用氣動門鉸，自動鎖門，減少操作程序，增強真空門整體的密閉性及減少對橡膠密封圈的破壞性；

4、真空容器設(shè)計為新型結(jié)構(gòu)，用戶可據(jù)自己的需求，升級為多功能鍍膜設(shè)備；

5、多弧離子部份采用先進(jìn)鍍膜工藝技術(shù)，即可鍍制裝飾膜，也能鍍制功能膜，數(shù)道工藝，一次完成，極為先進(jìn)科學(xué)；

6、智能控制：PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面，實現(xiàn)全自動控制；

7、報警及保護(hù)：異常情況進(jìn)行報警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施。

技術(shù)優(yōu)勢

1、膜層致密、粘附性好；膜層均勻性可調(diào)；高穩(wěn)定性；高功率；

2、均勻性好；優(yōu)化磁場設(shè)計，維護(hù)方便；有效水冷設(shè)計，靶材可以連續(xù)24小時工作；

3、腔體接口通用尺寸，互換性強，優(yōu)化升級方便；

4、實時記錄歷史數(shù)據(jù)和分析數(shù)據(jù)曲線，對品質(zhì)管理管控和工藝開發(fā)有明顯幫助。強大的軟件功能，友好的人機界面，實時記錄工藝數(shù)據(jù)，利于質(zhì)量管控、疑難分析、開發(fā)新工藝等；

5、模塊化工藝配方，靈活設(shè)定子配方和總配方，子配方添加/刪減方便，一鍵式操作即可完成多層工藝配方。