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HMPS-2080SP微波等離子體CVD設(shè)備品牌
和瑞微波產(chǎn)地
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◆產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高。
◆開(kāi)關(guān)型微波電源，微波輸出穩(wěn)定性高。
◆適合光學(xué)、電子、工具級(jí)金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積，材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。
◆性能先進(jìn)，安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好，操作簡(jiǎn)便。
◆多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、采集與記錄，PLC屏幕控制，多重聯(lián)鎖保護(hù)。
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