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氮化鋁具備優(yōu)異的物理性能:

原子間以共價(jià)鍵相結(jié)合，化學(xué)穩(wěn)定性好、熔點(diǎn)高;

機(jī)械強(qiáng)度高、電絕緣性能佳，是一種壓電和介電材料;

晶體薄膜硬度高，可作為耐磨涂層;

高電阻率、較低的漏電流以及大的擊穿場(chǎng)強(qiáng)，使得其成為微電子器件中絕緣埋層材料的**選擇之一;

·制備工藝與CMOS兼容，可以和其他器件集成到同一芯片上;

具備非鐵電材料中**的聲波傳播速度，且擁有****的壓電響應(yīng)，可用于制作高性能的聲表器件;

是一種寬禁帶材料，并具有直接帶隙，是重要的藍(lán)光和紫外發(fā)光材料;沿c軸取向具有非常好的壓電性和聲表面波高速傳播性能，傳聲速度快，是所有無(wú)機(jī)非鐵性壓電材料中**的。