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            金剛石基氮化鎵
            金剛石基氮化鎵

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            面議

            型號(hào)

            金剛石基氮化鎵

            品牌

            化合積電

            產(chǎn)地

            福建

            樣本

            暫無
            化合積電(廈門)半導(dǎo)體科技有限公司

            高級(jí)會(huì)員

            |

            第1年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實(shí)

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              -
            • 密度(kg/m3):

              -
            • 純度:

              -
            • 莫氏硬度:

              -
            • 白度:

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            化合積電采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備,在50.8 mm(2英寸)硅基氮化鎵HEMT上實(shí)現(xiàn)<10um厚度多晶金剛石材料的外延生長。采用掃描電子顯微鏡及X射線行射儀對(duì)金剛石薄膜的表面形貌、結(jié)晶質(zhì)量以及晶粒取向進(jìn)行表征測(cè)試,結(jié)果顯示:樣品表面形貌較為均勻,金剛石晶粒基本表現(xiàn)為(111)面生長,具有較高晶面取向。在生長過程中有效避免了氮化鎵(GaN)被氫等離子體刻蝕,使得金剛石鍍膜前后氮化鎵特性未發(fā)生明顯變化。

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            10分

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            10分

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