性能：
高效過濾濾料類型：
其他樣式：
盤式生產能力（kg/h）：
1000適用物料：
半導體晶圓吸附過濾面積（c㎡）：
0.02工作原理：
真空過濾自動化程度：
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微孔真空陶瓷工作盤是各種半導體片生產過程中用于吸附及承載的專用工具，應用于減薄、劃片、清洗、搬運等工序。
高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附, 同時也可作氣浮平臺，廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應用僅限用于平坦，無孔表面的工作平臺。使用者通常是機器操作員。 在金屬加工領域，這是一項安全可靠的工件傳輸。
自動化搬運、對象吸取、定位、精密網板印刷用工作臺，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力，將工作物（包括晶圓、玻璃、PET 膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤上，利用真空吸力使工作物固定，進行清洗、切割、研磨、網版印刷及其他加工程序。
加工對象：2、3、4、5、6、8、12英寸的半導體片。
吸盤類型：微孔陶瓷。
主要特點：平面度、平行度好，組織致密均勻、強度高、通透性好、吸附力均勻。
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泡沫陶瓷過濾板采用三維網狀結構和連通氣孔的有機泡體作載體，將其侵入具有觸變性的特殊質熔融材料漿料中，采用四方校正中心距全自動擠壓工藝，使?jié){料均勻敷與載體的泡體骨架上，經過烘干固化高溫1680℃焙燒而成
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