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碳化硅激光退火設(shè)備品牌
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■ 設(shè)備優(yōu)勢(shì)
◆ 激光器自制，自主可控
◆ 工藝窗口較廣，可兼容其他材料的退火要求
◆ 符合SEMI行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
■ 應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于碳化硅晶圓片的背金激光退火（以碳化硅材料為基板的晶圓）。
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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