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        白光共軛焦輪廓儀
        白光共軛焦輪廓儀

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        面議

        型號

        品牌

        產(chǎn)地

        德國

        樣本

        暫無
        上海納騰儀器有限公司

        會員

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        第2年

        |

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         技術(shù)參數(shù)

        Measuring head CX CI

        Image acquistion module BM 512 Digital camera with progressive-

        scan technology, up to 25fps,

        512 x 512 Pixel, 8bit, Firewire Fast digital camera with progressive-

        scan technology, up to 58fps,

        512 x 512 Pixel, 12 Bit, Firewirs

        light source, adjustable Halogen light source

        (LS 100) Powerfull-Xe-light source

        (LX 100, LX 180)

        Scan modules  

        x, y-axis module MS 50 Precision x, y-table, 50 x 50mm, resolution 0.1μm

        z-axis module ZM 100 Precision scanning module, range 100mm, resolution 0.1μm

        z-axis module NV 350 - Fast precision scanning module (Piezo),

        measuring range 350μm, resolution < 1nm

        Optic modules1) 1600 S 800 L / S / XS 320 L / S / XS 160 L / S

        Measurement area (x/y)(um)2

        (XY測量范圍) 1600 x 1600 800 x 800 320 x 320 160 x 160

        Numerical aperture

        (NA值) 0.3 0.4 / 0.46 / 0.6 0.5 / 0.8 / 0.95 0.8 / 0.95

        Working distance(mm)

        Z方向測量范圍 10.1 12 / 3.1 / 0.9 10.6 / 0.66 / 0.3 3.4 / 0.31

        Resolution in z-direction(nm)CX

        (Z方向范圍分辨率)     CI2) 50

        20 35 / 30 / -

        6 / 5 / 4 25 / 15 / -

        4 / 2 / 2 -

        2 / 1

        Resolution in x,y-direction

        (XY分辨率) 2.9 1.5 0.6 0.31

        1) L : long working distance, S : normal working distance, XS : short working distance, 2) noise level (only with NV350)

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        10分

        易用性

        10分

        性價比

        10分
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