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        Imprint Nano納米壓印
        Imprint Nano納米壓印

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        上海納騰儀器有限公司

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        儀器簡介:

        納米壓印的技術(shù)與工藝特點,**性地設(shè)計和制備工作于低真空環(huán)境下,結(jié)合正負(fù)壓可控調(diào)節(jié)并利用壓縮空氣作為壓印驅(qū)動力的,通過壓力傳導(dǎo)裝置、緩沖與勻壓、壓力調(diào)節(jié)控制裝置等手段實現(xiàn)平穩(wěn)可靠可控的壓印過程,借助于多種靈活的自動調(diào)節(jié)裝置的巧妙設(shè)計與運(yùn)用,實現(xiàn)壓印中的自動找平調(diào)控,以保證模板納米圖案均勻精確的大面積復(fù)制轉(zhuǎn)移。

        技術(shù)參數(shù):

        YPL-NIL-SI400納米壓印系統(tǒng):

        溫度范圍從室溫到350攝氏度;

        壓力范圍從0到20個PSI(在4英寸晶元上);

        紫外曝光系統(tǒng);

        真空范圍從1個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓到0.1帕;

        水冷系統(tǒng);

        樣品尺寸直徑**4英寸;

        PLC遠(yuǎn)程控制,帶觸摸屏;

        手動裝載樣品和模板;

        自帶機(jī)器控制軟件;

        在軟件控制下可實現(xiàn)自動增加和釋放壓力;

        可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統(tǒng)的納米壓印機(jī)。

        YPL-NIL-SI400 NANOIMPRINT SYSTEM

        *Thermal Imprinter

        Temperature range of R.T. to 350℃

        Pressure range of 0 to 20 atm

        *UV exposure system

        *Vacuum range of 1atm to 10-1 Pa

        * Sealed Bellows

        *Wafer/Mask Holders: maximum 4 inch dia. Samples: Smart Sample Holder for

        irregular shaped samples and piece parts.

        *Control electronics

        *PLC control and Touch Screen

        *Manual loading and unloading of wafers and masks

        *Proprietary Machine Control Software

        Including (A) SI400 nanoimprint system (B) training, Warranty, other, and (C) Options

        主要特點:

        該納米壓印機(jī)利用紫外曝光或者熱壓固化實現(xiàn)壓印圖案在壓印高分子膠層中的復(fù)制,并通過各項功能與過程參量的優(yōu)化與篩選,通過遠(yuǎn)程PLC控制系統(tǒng)結(jié)合觸摸屏單元,實現(xiàn)納米壓印全過程的實時監(jiān)控與全自動化控制。

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        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價比

        10分
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