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儀器簡介：
此系統(tǒng)通過手動或自動方式實現(xiàn)對材料表面的點電阻或面電阻進行測量表征，可通過圖譜，數(shù)據(jù)，2D或3D方式體現(xiàn)；儀器與電腦連接使用，可通過專業(yè)軟件進行控制，分析。表面電阻(ohm/sq)，電阻率（ohm.cm)測試理想的工具。
廣泛應(yīng)用于半導體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏。。。
技術(shù)參數(shù)：
面電阻測量：
- 測量模式 : 接觸式 4-探針
電阻率測量：
- 測量模式 : 接觸式 4-探針 (可輸入厚度)
軟件系統(tǒng)：
- 測量條件靈活 : Wafer type， 點間隔測量， etc.
- 儲存& 下載 : 數(shù)據(jù)， wafer 型， 測試點， etc.
- 數(shù)據(jù)分析 : 2D， 3D mapping， data map， etc.
- On/Off : 電腦操控， 真空
- 數(shù)據(jù) & mapping 可打印
測量模式 (S/W)
-自動檢測: Point interval designation by user
-快速檢測 : ASTM & SEMI Mode
-點測量: Appointment on wafer by mouse
-手動檢測 : Appointment on wafer by arrow key
主要特點：
-X，Y，Z-軸全自動控制系統(tǒng)
-自動& 手動范圍可選
-樣品臺尺寸可根據(jù)客戶訂制
-通過PC進行控制
-數(shù)據(jù)分析 (2D， 3Dmap etc)
-ASTM & SEMI 快速測量模式
暫無數(shù)據(jù)！
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