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核心參數(shù)：

樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：150mm*150mm (可選200mm*200mm)

樣品尺寸：直徑≤200mm， 厚度≤20mm

定位檢測(cè)噪聲：0.03nm(typical)， 0.05nm(maximum)

產(chǎn)地類(lèi)別：進(jìn)口儀器

世界**精度及強(qiáng)大功能Park原子力顯微鏡產(chǎn)品特性

Park XE15具備多個(gè)特殊功能，是共享實(shí)驗(yàn)室處理各類(lèi)樣品、研究員進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)、失效分析師研究晶片等的不二選擇。合理的價(jià)格搭配強(qiáng)健的性能設(shè)置，使其成為業(yè)內(nèi)性?xún)r(jià)比**的大型樣品原子力顯微鏡。

MultiSample™（多重采樣^TM）掃描器帶來(lái)*便捷樣品測(cè)量

多樣品一次性自動(dòng)成像

特殊設(shè)計(jì)的多樣品夾頭，*多可承載16個(gè)獨(dú)立樣品

全自動(dòng)XY樣品載臺(tái)，行程范圍達(dá)200 mm x 200 mm。

無(wú)軸間耦合提高掃描精度

兩種獨(dú)立閉環(huán)XY和Z平板式掃描

平板式和線(xiàn)性XY掃描可達(dá)100μm x 100μm，且殘余壓彎小

整個(gè)掃描范圍內(nèi)的異面移動(dòng)小于2nm

強(qiáng)力掃描器達(dá)25μm Z掃描范圍

精確的高度測(cè)量

Non-Contact™（真正非接觸^TM）模式延長(zhǎng)針尖使用壽命、改善樣品保存及精度

其Z掃描頻寬是壓電管基礎(chǔ)系統(tǒng)的10倍

非接觸式可降低針尖磨損、延長(zhǎng)使用壽命

成像分辨率高于同類(lèi)原子力顯微鏡

降低樣品干擾，提高掃描精度

提供**用戶(hù)體驗(yàn)

開(kāi)放式側(cè)面接入，提高樣品及針尖更換效率

預(yù)對(duì)準(zhǔn)的針尖安裝和****的軸上俯視法可簡(jiǎn)單直觀地實(shí)現(xiàn)激光對(duì)準(zhǔn)

燕尾鎖封片方便鏡頭拆卸

界面帶自動(dòng)設(shè)置功能，方便用戶(hù)使用

多種模式與選項(xiàng)

綜合性測(cè)量模式及特性設(shè)置，是我司**通用型原子力顯微鏡

多種可選配件及更新，擴(kuò)展性能優(yōu)越

為缺陷分析提供先進(jìn)電氣測(cè)量

產(chǎn)品特點(diǎn)

100um x 100 um掃描范圍的XY柔‘性導(dǎo)向掃描器

XY掃描器含系統(tǒng)二維彎曲及強(qiáng)力壓電堆疊，可使極小平面外移動(dòng)形成較大的正交運(yùn)動(dòng)，并能快速響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)精確的樣品納米級(jí)掃描。

柔性導(dǎo)向強(qiáng)力Z掃描器

在強(qiáng)力壓電堆疊的驅(qū)動(dòng)及彎曲結(jié)構(gòu)的引導(dǎo)下，其硬度允許掃描器高速豎直運(yùn)動(dòng)，較傳統(tǒng)原子力顯微鏡掃描器更加高速。**Z型掃描范圍搭配遠(yuǎn)程Z掃描器（選配）可延長(zhǎng)12μm至25μm。

滑動(dòng)連接的超亮二極管頭

通過(guò)將原子力顯微鏡頭沿楔形軌道滑動(dòng)，可輕松將其插入或取出。低相干的超發(fā)光二極管頭可實(shí)現(xiàn)高反射表面的精確成像和力-矩光譜的精確測(cè)量。超亮二極管頭的波長(zhǎng)幫助減輕干擾問(wèn)題，因此用戶(hù)在可見(jiàn)光譜實(shí)驗(yàn)中也可使用本產(chǎn)品。

多樣品夾頭

特殊設(shè)計(jì)的多樣品夾頭，做多可承載16個(gè)獨(dú)立樣品，由多重采樣掃描器自動(dòng)按順序掃描。特殊的夾頭設(shè)計(jì)為接觸樣品針尖預(yù)留了邊通道。

選配編碼器的XY自動(dòng)樣品載臺(tái)

自動(dòng)集成XY載臺(tái)可輕松并精確控制樣品的測(cè)量位置。XY樣品載臺(tái)的行程范圍可配置為150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自動(dòng)載臺(tái)使用編碼器，可提高樣品定位的精確度和重復(fù)性。編碼XY載臺(tái)工作時(shí)分辨率為1 μm，重復(fù)率為2 μm。編碼Z載臺(tái)的分辨率為0.1 μm，重復(fù)率為1 μm。

高分辨率數(shù)碼變焦感光元件攝像頭

高分辨率數(shù)碼感光元件攝像頭利用直接同軸光學(xué)，具備變焦功能，無(wú)論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。

垂直對(duì)齊的自動(dòng)Z載臺(tái)及聚焦載臺(tái)

Z載臺(tái)和聚焦載臺(tái)可將懸臂嚙合到樣品表面上，同時(shí)確保用戶(hù)視野清晰穩(wěn)定。聚焦載臺(tái)是由軟件控制自動(dòng)運(yùn)行的，因此滿(mǎn)足透明樣品及液態(tài)元件應(yīng)用所需精度。

彎曲基底解耦XY和Z掃描器

Z掃描器與XY掃描器完全解耦。XY掃描器在水平面上移動(dòng)樣品，同時(shí)Z掃描器豎直移動(dòng)探針。

此配置以*小異面移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了平板式XY掃描。此XY掃描同時(shí)還具有高正交性與線(xiàn)性。

業(yè)內(nèi)*低本底噪聲

為探測(cè)*小樣品的特性，幫助*快運(yùn)動(dòng)平面成像，Park Systems設(shè)計(jì)了業(yè)內(nèi)0.5A以下的*低本底噪聲標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。使用“零掃描”探測(cè)本地噪聲數(shù)據(jù)。

真正非接觸模式延長(zhǎng)針尖使用壽命

XE系列原子力顯微鏡已成功搭配**強(qiáng)力Z掃描系統(tǒng)獨(dú)有的真正非接觸模式。真正非接觸模式下，使用的是相吸而非相排斥的內(nèi)部原子力。

真正非接觸模式因此成功地保持了針尖樣品納米級(jí)間距，改善了原子力顯微鏡圖像，保持針尖的銳利，因此有效延長(zhǎng)了針尖使用壽命。

預(yù)對(duì)準(zhǔn)懸臂支撐

預(yù)先安裝在探針支撐上，因此不需要嚴(yán)格對(duì)齊激光束。

高分辨率的直接同軸光學(xué)元件

用戶(hù)可直接俯視觀看樣品，操控樣品表面，從而很容易就能找到目標(biāo)區(qū)域。高分辨率數(shù)碼攝像頭具備變焦功能，無(wú)論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。

帶DSP控制芯片的XE控制電子元件

原子力顯微鏡發(fā)出的納米級(jí)信號(hào)將由高性能Park XE電子元件控制并處理。Park XE電子元件為低噪聲設(shè)計(jì)，配備高速處理單元，可成功實(shí)現(xiàn)真正非接觸™模式，是納米級(jí)成像及電壓電流精準(zhǔn)測(cè)量的理想選擇。

600 MHz、4800 MIPS速度的高性能處理單元

低噪聲設(shè)計(jì)，適合電壓電流精準(zhǔn)測(cè)量

-通用系統(tǒng)，各SPM技術(shù)均可得到應(yīng)用

外部信號(hào)接入模塊，存取原子力顯微鏡輸入/輸出信號(hào)

*多16個(gè)數(shù)據(jù)成像

**數(shù)據(jù)尺寸：4096 x 4096像素

16位ADC/DAC，速度達(dá)500 kHz

TCP/IP連接，隔離計(jì)算機(jī)接出電噪