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WLI Infra干涉儀
德國(guó)BMT WLI Infra干涉儀是用于硅薄膜的厚度測(cè)量設(shè)備。儀器適用于實(shí)驗(yàn)室、車(chē)間和生產(chǎn)線上的質(zhì)量管理。測(cè)量頭提供**的重復(fù)性，設(shè)計(jì)堅(jiān)固緊湊、免維護(hù)，適用于在線測(cè)量。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
MEMS、硅梁、透明薄材料的非接觸高精度厚度測(cè)量；
納米級(jí)分辨率；
手動(dòng)或自動(dòng)測(cè)量步驟設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)單易用；
不受溫度變化和熱效應(yīng)的影響；
**的重復(fù)性；
可配備表面輪廓測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)：
厚度分辨率（nm） <1
探針大小 （μm） 約150（可定制）
厚度范圍 （μm） 0.1-600
儀器尺寸 （mm） 320x320x380
重量 （kg） 120
晶圓夾具 定制，可達(dá)30cm
全自動(dòng)測(cè)量
標(biāo)準(zhǔn)或定制的軟件包
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