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創(chuàng)新點

1.**保護MyAutoView的光斑可視功能，可對薄膜樣品直接觀測測量光斑和樣品表面，簡單直接，提高測量精確度。直接觀測測量點，可極快地準確判斷測量點位置，避免光斑落在污點處，同時對于有圖形的薄膜，配合自動平臺，可以準確地定位微光斑，快速地進行橢偏測量。 2.全自動樣品水平調整系統(tǒng)，可自動找平測量表面，使測量更簡單。 3.Uvisel 2采用反射式結構(無色差)微光斑技術，對于激發(fā)波長均保證光斑大小相同。8種光斑尺寸，包括目前世界上*小的35um無色差微光斑，極大地提供了空間分辨率。 4.190-1000nm分光系統(tǒng)采用雙級單色儀，具有更高的雜散光抑制率，有效減少測量時間，保證數(shù)據(jù)在高精度，高信噪比下快速測量。 5.采用新的雙級分光系統(tǒng)和電學反饋系統(tǒng)，使整體測量速度大幅提高，190-1000nm僅需60秒就可得到高精度，高分辨率測試結果，190-2100nm范圍僅需5分鐘。

儀器介紹：

UVISEL2是一款完全革新的全自動光譜型橢偏儀。繼承并發(fā)展了經(jīng)典機型UVISEL的高準確性、高靈敏度和高穩(wěn)定性等技術特點的同時，配備革新的可視系統(tǒng)，多達8個尺寸微光斑選項，*小達35×85μm2，適用于所有薄膜材料研究領域。是目前市場上****的機型。技術參數(shù)：

·光譜范圍：190-2100 nm

·8種光斑尺寸: *小35 X 85 um

·探測器：3個獨立探測器，分別優(yōu)化紫外，可見和近紅外

·自動樣品臺尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自動調節(jié); Z軸高度>35mm

·樣品水平度自動調整

·自動量角器：變角范圍35°- 90°，全自動調整，*小步長0.01°

主要特點：

·完全自動化設計，自動對焦、校正

·全新光路、電路設計，測量精度更高，速度更快

·50KHz高頻PEM相調制技術，測量光路中無運動部件

·雙光柵光譜儀系統(tǒng)，雜散光抑制水平高

·8個尺寸微光斑，**可視技術

·自動平臺樣品掃描成像