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PVA是歷史悠久的德國高科技上市公司,在等離子體、真空系統(tǒng)、晶體生長等領(lǐng)域占據(jù)****地位;PVA TePla是PVA的一個部門,專業(yè)制造等離子清洗機(jī),廣泛應(yīng)用于電子,塑料,橡膠,玻璃等各種材料清洗及表面處理。作為生產(chǎn)等離子體處理設(shè)備的專家,PVA TePla可為半導(dǎo)體行來提供等離子體清洗設(shè)備和服務(wù)。
GIGA 80 Plus
全自動微波等離子清洗機(jī)的個別基板。適用嵌入式解決方案或獨立的工具
產(chǎn)量方面的業(yè)界新標(biāo)準(zhǔn):
高收率
支持 100x300mm 框架
在SEMICON Taiwan 2012展出
(基希海姆慕尼黑, 2012年10月19日)-
PVA TePla位于基希海姆/慕尼黑的等離子系統(tǒng)事業(yè)部在2012年臺灣SEMICON公布了下一代的片式處理等離子系統(tǒng) (支持100x300mm的框架-高速等離子系統(tǒng), 在產(chǎn)量方面樹立了業(yè)界的新標(biāo)準(zhǔn)。
80 Plus High Speed (HS)正在申請**, 對比與其他框架和基板片式處理等離子系統(tǒng), 該設(shè)備是世界上**一個單腔體支持片尺寸轉(zhuǎn)換, 運輸和處理并提升了3倍UPH的設(shè)備。<該系統(tǒng)針對大批量的芯片制造商在引線鍵合前, 塑封前, 倒裝片底部填充前等應(yīng)用中提升收率和可靠性。
80 Plus支持射頻(RF)和微波(MW)技術(shù), 各根據(jù)客戶的需求提供**的工藝解決方案。在半導(dǎo)體微芯片封裝中, 引線鍵合前通過等離子提高焊盤清潔度是必不可少的。通過等離子清洗, 球剪切力和線拉力的改善是非常顯著的。等離子清洗和活化作用可應(yīng)用于提高塑封料的粘合, 消除因為分層引起的收率損失。在倒裝片工藝中, 底部填充前微波等離子清洗已經(jīng)成為提高收率必不可少的工藝。先進(jìn)的倒裝片產(chǎn)品在市場中越來越重要, 微波等離子在處理芯片底部超小空隙上是****的。
暫無數(shù)據(jù)!