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Park NX20

缺陷分析的**選擇

作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。

而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款全球*精密

的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準確性，在半導體和超平樣品行

業(yè)中大受贊揚。200mm樣品全尺寸自動測量，無需人工操作。

*強大全面的分析功能

具備****的功能，可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助

客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。****的精密度為您帶來高分辨率數(shù)

據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針尖端更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和**。

即便是**次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作

ParkNX20擁有業(yè)界*為便捷的設(shè)計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量

的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點，您

可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效

分析報告。

ParkNx 20

創(chuàng)新工作的創(chuàng)新特征

為FA和研究實驗室提供精準的形貌測量解決方案

■缺陷檢查成像和分析

■高分辨率電子掃描模式

■對樣品和基片進行表面粗糙度測量

■樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測量

低噪音Z探測器可精確測量AFM表面形貌

■非接觸模式，降低針尖磨損，減少換探針時間

■非接觸模式下的快速缺陷成像

■業(yè)內(nèi)**的三維結(jié)構(gòu)測量的解耦XY掃瞄系統(tǒng)

■通過使用熱匹配的組件，盡量減少系統(tǒng)漂移和遲滯現(xiàn)象

低噪聲Z探測器可精確測量AFM表面形貌

■業(yè)界**的低噪聲Z檢測器測量樣品表面形貌

■沒有過沿過沖和壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌

■即使是高速掃描也可以保持精確的表面高度

■行業(yè)**的前向和后向掃描間隙橫向漂移小于0.15%

用真正的非接觸掃描方式節(jié)省成本

■在一般用途和缺陷成像中，具有普通掃描模式10倍或更長的針尖使用壽命

■減少針尖的尖端摩損

■*真實的再現(xiàn)樣品微觀三維形貌，減少樣品在掃描過程中的損壞或變形

Park NX20

AFM技術(shù)

行業(yè)**的低噪聲Z軸探測器

超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02nm，從而達成非常精準樣品形貌成像，

沒有邊沿過沖無須校準。 NX20為您提供好的數(shù)據(jù)同時也為您節(jié)省寶貴的時間

真正非接觸模式TM可保護針尖鋒利度

原子力顯微鏡的針尖本身很脆弱，在掃描過程中，針尖磨損會逐漸降圖片質(zhì)量和分辨率。

測量表面軟的樣品時，針尖也會破壞樣品并生成不準確的樣品高度測量數(shù)據(jù)。

作為Park原子力顯微鏡*獨特的一種掃描模式，

真正非接觸模式TM可持續(xù)獲得高分辨率且精確的數(shù)據(jù)，同時保持針尖的完整性。

ParkNX20

凝聚著**創(chuàng)新的AFM技術(shù)

100 μm x μm掃描范圍的XY平板掃描器

XY平板掃描器，采用壓電堆棧設(shè)計，減少傳統(tǒng)掃描過程中XY的正交影響

，具有高速的影響頻率，實現(xiàn)精確的樣品奈米級掃描。

高速Z軸掃描器，掃描范圍達15μm

高強度壓電堆棧和饒性設(shè)計，標準Z軸掃描器的共振頻率大于9kHz(一般為10.5kHz)且探針的Z軸掃描速率不低于48mm/秒。 Z軸**掃描范圍可從標準的15μm擴展至30μm(長范圍Z掃描頭)。

低噪聲XYZ位置傳感器

低噪聲XYZ閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

集成編碼器的XY自動樣品載品

編碼器可用于所有自動樣品載臺，并可保證更高的重復(fù)定位精度，

從而可更精確地控制樣品測量位置。

XY馬達動工作時分辨率為1μm，重復(fù)率為2μm。

Z馬達運動的分辨率為0.1μm，重復(fù)率為1μm。

自動多點樣品掃描

借助驅(qū)動樣品臺，可編程步進掃描，多區(qū)域成像，

以下是它的工作流程：

1.掃描成像

2.抬起懸臂

3.移動驅(qū)動平臺到設(shè)定位置

4.進針

5.重新設(shè)定位置掃描成像

該自動化功能大大減少掃描過程中人工的移動樣品，從而縮短測試時間，提高生產(chǎn)率。

操作方便的樣品臺

獨特的頭部設(shè)計，可使用從側(cè)面操作樣品及探針，

根據(jù)所選擇樣品臺的行程范圍，用品在樣品臺上可放置的**樣品直徑200mm。

用于拓展掃描模式易插拔擴展槽

你只需要將可選模塊插入擴展槽，便可激活拓展掃描顯微鏡模式。

得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊化設(shè)計，其產(chǎn)品線的配置兼容性大大提高

同軸高功率光學集成LED照明和CCD系統(tǒng)

定致物鏡配有超長工作距離(50mm，0.21的數(shù)值孔徑，1.0μm的分辨率)，帶來****的鏡頭清晰度。同軸光源設(shè)計讓用戶可輕易地在樣品表面找尋找測試區(qū)域，物鏡*小分辨率為0.7μm。得益于CCD的高端傳感器，在獲得較大視場的同時，但分辨率卻不受影響。由軟件控制的LED光源能為樣品表面提供足夠的照明，便于清晰觀察樣品。

掃描頭滑動嵌入式設(shè)計

你只需滑動嵌入燕尾導執(zhí)便可輕松更換原子力顯微鏡掃描頭。

該設(shè)計可將掃描頭自動鎖定至預(yù)對準的位置，無須調(diào)節(jié)激光位置，

激光自動投射在針尖上。借助于鄉(xiāng)優(yōu)異的四象限檢測器，

顯微鏡可精確成像并可準確測定力，距離曲線。

自動Z軸移動和聚焦系統(tǒng)

高度限行Z軸移動和聚焦系統(tǒng)，可以得到清晰的視野和圖像，用戶通過軟件界面進行操作，

由高精度步進電機驅(qū)動，即使液體或者透明樣品也可快速找到樣品表面。

高速24位數(shù)字電子控制器

所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進行控制和處理。

該控制器是個全數(shù)字，24位高速控制器，可確保True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。憑借著低噪音設(shè)計和高速處理單元，該控制器也是納米成象和精確電壓、電流測量的**選擇。嵌入式數(shù)字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，更好的解決方式，是資深研究員的**選擇。

XY.Z軸檢測器的24位信號分辨率

■XY軸的*小分辨率為0.003nm (50 μm XY掃描器)

■Z軸的*小分辨率為0.001nm (50 μm Z掃描器)

嵌入式數(shù)字信號處理功能

■三個鎖相放大器

■探針彈簧系數(shù)校準(熱方法)

■數(shù)字化Q控制

集成式信號端口

■專用可編程信號輸入/輸出端口

■7個輸入端口和3個輸出端口

Park NX 20

世界上*精準和*容易操作的AFM

簡單的探針和樣品更換

獨有的**設(shè)計讓您輕易地用手從側(cè)面更換新的探針和樣品。

借助安裝懸臂式探針夾頭中于預(yù)先校準的探針位置，無須再進行繁瑣的激光調(diào)節(jié)工作。

帶有兩級反饋系統(tǒng)的閉環(huán)XY掃描器

XY掃平板掃描器的每個軸上的低噪聲位移傳應(yīng)器，

可以在進行大掃描范圍時提高樣本掃描正交性。

次級傳感器會對非線性和非平面位置錯誤進行補償，*真實的還原樣品的形貌。

閃電般快速的自動進針

自動的探針樣品進針功能能讓用戶無需進行干預(yù)操作。

通過監(jiān)測懸臂接近表面的反應(yīng)，Park NX20能夠在探針裝載后，十秒內(nèi)自動快速完成探針進針操作。高速、軸掃描器的快速信息反饋和NX電子控制器的低噪聲信號處理使得探針無需用戶干預(yù)就能快速接觸樣品表面。

主動溫控隔音罩

專為Park NX20設(shè)計的隔音罩，主動進行溫度調(diào)節(jié)功能，保證側(cè)試環(huán)境在一個完全穩(wěn)定的熱環(huán)境中。 Park NX20 還具有主動隔振功能，完全與外界的聲、光噪聲隔離，因此測試的準確性將不受到外界干擾。

■操作簡單-創(chuàng)新的控制設(shè)計使Park NX20能夠快速達于溫度平衡

■節(jié)省操作時間-關(guān)閉隔音罩10分鐘內(nèi)可保持測試環(huán)境低于0.05°C的溫差

Park NX20

可滿足各種測試需求

Park NX20可以滿足科研工作者需要的各種掃描模式，并能滿足您的所有研究需求。

表面粗糙度測量

■真正非接觸模式

■輕敲模式

電學性能測量

■導電AFM(ULCA和VECA)

■靜電力顯微鏡(EFM)

■壓電力顯微鏡(PFM)

■掃描電容顯微鏡(SCM)

■掃描開爾文探針顯微鏡(SKPM)

■掃描電阻顯微鏡(SSRM)

■掃描隧道顯微鏡(STM)

■光電流顯微鏡(Tr-PCM)

機械性能測量

■力調(diào)制顯微鏡(FMM)

■力-距離(F-D)曲線

■力譜成像

■側(cè)向力顯微鏡(LFM)

■納米壓痕

■納米刻蝕

■相位成像

熱特性

■掃描熱感顯微鏡(SThM)

磁特性

■磁力顯微鏡(MFM)

高級選項

定制你獨有的原子力顯微鏡

自動數(shù)據(jù)收集和分析，適合工業(yè)客戶產(chǎn)線測量

Park的自動化控制軟件，根據(jù)你的預(yù)設(shè)程序，自動進行AFM測量。它可以準確地收集數(shù)據(jù)，執(zhí)行模式識別，并使用它的尋邊器和光學模塊進行分析，不需要人工介入，為您節(jié)省測量時間。

傾斜樣品傾角夾具，可以幫助您進行樣品側(cè)壁成像

NX20的創(chuàng)新架構(gòu)讓您可以檢測樣品的側(cè)壁和表面，并測量它們的角度。這項設(shè)計賦予了這個單位更深的靈活性，您可以做更多的創(chuàng)新研究和獲得更深的見解。

■傾斜角度：10°、15°和20°

■樣品尺寸：20mm x 20 mm

■樣本厚度：2mm

嵌入主動溫度控制的隔音罩可以讓您采取更精確的測量

■創(chuàng)新設(shè)計使系統(tǒng)快速達到其溫度平衡

■10分鐘內(nèi)使測試環(huán)境溫差小于0.05°C

■集成式主動減震臺，優(yōu)于老式的氣動平臺，減震效果更佳

閉環(huán)控制電動位移臺

■XY載臺馬達位移機械分辨為1μm，重復(fù)率為2μm

■Z向馬達位移分辨率為0.1μm，重復(fù)率為1μm

樣品盤

■專用芯片樣品盤

■真空吸附盤

■**200mm晶圓盤

探針夾具

■固定掃描探針

■可進行導電學性能測試

■針尖電壓：-10V~+10V

XY掃描器 Z掃描器

■20μm x20μm ■15μm

■50μm x50μm ■30μm

■100μm x100μm

精確的溫度控制

■加熱和冷卻臺(0~180°C)

■250°C加熱臺

■600°C加熱臺

ParkNX20

技術(shù)參數(shù)

掃描器

XY掃描器

閉環(huán)控制XY平板掃描器

掃描范圍：100μm x 100μm

50μm x 50μm

25μm x 25μm

20位位置控制和24位位置傳感器

Z掃描器

導向強力Z掃描器

掃描范圍：15μm

30μm

20位位置控制和24位位置傳感器

視場&CCD

同軸光源設(shè)計

10倍光學物鏡和數(shù)碼放大

光學物鏡視場：840μm x 630μm

CCD：5MP

光學物鏡

10X(0.21 NA)超長工作距離鏡頭的物鏡

20X(0.42 NA)高分辨率，長工作距離鏡頭的物鏡

軟件

SmartScan

專用系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采級軟件

智能掃描模式

通過外部程序控制腳本級別(選配)

NXI

AFM數(shù)據(jù)分析軟件

電性能

信號處理

ADC:18通道

ADC通道(64MSPS)

24-bits ADC的X，Y和Z掃描器位置傳感器

DAC:12通道

ADC通道(64MSPS)

20bits DAC的X，Y和Z掃描器定位

**數(shù)據(jù)量:4096X4096像素

集成功能

3通道數(shù)字鎖相放大器

探針彈性系數(shù)校準(熱方法)

數(shù)據(jù)Q控制

外部信號訪問

20個嵌入式舒輸入/舒出口

5個TTL輸出：EOF，EPL，EOP，Modulation and AC bias

選項/模式

成像模式

■真正非接觸模式

■接觸模式

■側(cè)向摩擦力顯微術(shù)(LFM)

■相位成像

■輕敲模式

電學特性測量

■掃描電容顯微鏡(SCM)

■導電原子力顯微鏡

■靜電力顯微鏡(EFM)

■壓電力顯微鏡(PFM)

■掃描開爾文探針顯微鏡(SKPM/KPM)

■壓電力顯微鏡PFM

一般特性

■磁力顯微鏡(MFM)

■掃描熱感顯微鏡(SThM)

■力一距離(F-D)曲線

■掃描隧道顯微鏡(STM)

■力調(diào)制顯微鏡(FMN)

■納米壓痕

■納米刻蝕

■納米操控

選項

■樣品基座

■具有溫控性能的隔音罩

■液體探手

■液池

■溫控臺

■外部偏置模塊

■信號獲取模塊

運動位移平臺

XY行程范圍：150mm(200mm選配)

Z行程范圍：25mm

XY載臺馬達位移機械分辨率為1μm，重復(fù)率為2μm

Z向馬達位移機械分辨率為0.1μm，重復(fù)率為1μm

樣品基座

樣品**尺寸：150mm(200mm選配)

真空樣品吸附