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專為超大納米平板掃描器測量而設(shè)計(jì)的自動(dòng)化原子力顯微鏡系統(tǒng)

隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計(jì)量需求的增加，Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結(jié)合，克服了針對大型和重型樣品進(jìn)行納米計(jì)量的巨大挑戰(zhàn)。

Park NX-TSH能獲得關(guān)于表面粗糙度，臺階高度，關(guān)鍵尺寸和側(cè)壁信息的高分辨率圖像和數(shù)據(jù)，從而為大型納米級尺寸樣品測量提供**解決方案。

Park NX-TSH的全自動(dòng)特點(diǎn):

• 可靈活掌握自動(dòng)，半自動(dòng)和手動(dòng)模式

• 為每個(gè)自動(dòng)化程序提供可編輯測量方法

• 實(shí)時(shí)監(jiān)控測量過程

• 自動(dòng)分析獲取測量數(shù)據(jù)

- 自動(dòng)換針器（ATX）

ATX通過模式識別自動(dòng)定位探針，并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。激光光斑通過電動(dòng)定位技術(shù)自動(dòng)對準(zhǔn)。

-電離系統(tǒng)可提供更穩(wěn)定的掃描環(huán)境

Park創(chuàng)新的電離系統(tǒng)可快速有效地去除樣品環(huán)境中的靜電荷。由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負(fù)離子的理想平衡，因此可以創(chuàng)建一個(gè)極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境，幾乎不污染周圍區(qū)域，并且將在樣品處理過程中產(chǎn)品意外靜電的風(fēng)險(xiǎn)降至*低。

Park NX-TSH技術(shù)參數(shù)：

*本技術(shù)參數(shù)是可定制的?？勺稍働ark原子力顯微鏡，以獲取更多信息。

系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

樣品尺寸： 520 mm X 520 mm X12 mm， 10kg

電動(dòng)式X方向載物臺：行程可達(dá)625 mm，±3 μm分辨率

電動(dòng)式Y(jié)方向載物臺：行程可達(dá)525 mm，±3 μm分辨率

電動(dòng)式Z方向載物臺：Z軸移動(dòng)距離為25 mm， 0.08 μm分辨率，重復(fù)性<1μm

電動(dòng)式對焦臺：Z軸行進(jìn)光學(xué)距離為9 mm

COGNEX圖案識別：圖案校對分辨率為1/4像素

掃描器性能：

XY掃描范圍：100 μm ×100 μm

XY分辨率：0.15 nm

Z掃描范圍：15 μm

Z分辨率：0.016 nm

AFM和XY移動(dòng)平臺控制器

ADC：18個(gè)頻道，4個(gè)高速通道，X，Y和Z位置傳感器(24-位ADC)

DAC:12個(gè)頻道，2個(gè)高速DAC通道，X，Y和Z的定位(20-bit DAC)

合規(guī)

CE認(rèn)證：SEMI S2 / S8標(biāo)準(zhǔn)

設(shè)施要求

待機(jī)室溫：10°C?40°C

工作室溫：18°C?24°C

濕度：30％至60％（不凝結(jié)）

地板振動(dòng)要求：VC-E（3微米/秒）

噪音：低于65 dB

氣動(dòng)式：真空度：-80 kPa

CDA（或N2）：0.7 Mpa

電源額定值：208V-240 V，單相，17 A（**）

總耗電量：咨詢Park原子力顯微鏡

接地電阻：低于100歐姆