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通過(guò)整合光學(xué)顯微鏡和先進(jìn)的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量

多年的顯微鏡開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能STM7測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前***光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，此外，像差也被完全消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。

花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性

作為高度測(cè)量的先鋒，繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測(cè)量

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

測(cè)量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)

STM7測(cè)量顯微鏡設(shè)計(jì)注重易用性

提供載物臺(tái)以適合眼下的樣本大小

[常見(jiàn)問(wèn)題]

? 短測(cè)量行程無(wú)法滿足較大樣品的測(cè)量需求。

? 目前為止，大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品來(lái)補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí)，效率不高。

? 由于可測(cè)量的范圍窄，無(wú)法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。

[STM7解決方案]

共有四種獨(dú)特的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm

和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。

? 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。

? 300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察

[常見(jiàn)問(wèn)題]

大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以專用測(cè)量物鏡或?qū)Ｓ媒鹣辔镧R，無(wú)法同時(shí)滿足多種觀察要求。

[STM7解決方案]STM7測(cè)量顯微鏡可以通過(guò)安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過(guò)這種方式，無(wú)論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶選擇**的觀察方法。

測(cè)量物鏡

由于測(cè)量物鏡具有非常長(zhǎng)的工作距離，因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候，無(wú)需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測(cè)量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場(chǎng)。

金相物鏡可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場(chǎng)觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng)，偏光和微分干涉觀察。

手動(dòng)和電動(dòng)調(diào)焦模式的選擇

STM7測(cè)量顯微鏡系列包括手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩個(gè)系列對(duì)于Z軸的上下調(diào)焦，有手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種系列供您選擇。請(qǐng)根據(jù)樣品和測(cè)量?jī)?nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型，而不需要考慮載

物臺(tái)的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺，各種型號(hào)STM7都可以對(duì)應(yīng)3軸測(cè)量。

一個(gè)具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測(cè)量顯微鏡的操作性

[常見(jiàn)問(wèn)題]

? 增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作者需要同時(shí)操作多個(gè)單元而導(dǎo)致無(wú)法高效率地進(jìn)行測(cè)量。操作時(shí)也經(jīng)常會(huì)發(fā)生找不到操作單元的情況。

? 增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作者需要同時(shí)操作多個(gè)單元而導(dǎo)致無(wú)法高效率地進(jìn)行測(cè)量。操作時(shí)也經(jīng)常會(huì)發(fā)生找不到操作單元的情況。

[STM7解決方案]控制裝置

對(duì)于STM7測(cè)量顯微鏡系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測(cè)量顯微鏡操作，包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提高效率和方便性，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。

控制箱

各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設(shè)計(jì)可以**程度地減少占用工作空間。

大大提高了觀察和測(cè)量效率的光源管理器

[常見(jiàn)問(wèn)題]

? 傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。這樣每次測(cè)量時(shí)的光強(qiáng)無(wú)法保持一致，導(dǎo)致測(cè)量值也發(fā)

生變化。

? 使用傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡時(shí)，每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng)，這使得工作流程非常低效。

[STM7解決方案]能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示

物鏡切換時(shí)，無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)光強(qiáng)度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會(huì)自動(dòng)識(shí)別目前使用的物鏡，結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)

值功能，可以為每個(gè)物鏡注冊(cè)照明方式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后，可以自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次

切換倍率后手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作，現(xiàn)在就可以省略了。

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器，確保能隨時(shí)迅速地檢查測(cè)量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。

[常見(jiàn)問(wèn)題] 需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測(cè)量結(jié)果時(shí)，因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。

[STM7解決方案]能一目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器

計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈，可以簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的*小單位可以在

0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。

可滿足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器無(wú)論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺(tái)上，可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在**位置。當(dāng)用戶站

著進(jìn)行測(cè)量時(shí)，可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè)，以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過(guò)數(shù)碼相

機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測(cè)量，或使用電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型時(shí)，只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺(tái)上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)

行作業(yè)。

高度測(cè)量：聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)

實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更精確的高度測(cè)量

[[常見(jiàn)問(wèn)題]

進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同的操作者會(huì)測(cè)得不同的高度測(cè)量值。此外，這種測(cè)量方法非常耗時(shí)，效率低下。

[STM7解決方案]

具有優(yōu)越的重復(fù)性、簡(jiǎn)單且高度精確的聚焦系統(tǒng)

通過(guò)將圖案投影在視場(chǎng)范圍內(nèi)，由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí)，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)完全合焦的圖像，也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量，因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。

目視高度測(cè)量

聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)

自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢(shì)成就快速、高精度的高度測(cè)量

[常見(jiàn)問(wèn)題]? 進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同的操作者得出的高度測(cè)量結(jié)果也會(huì)不一樣。

? 手動(dòng)高度測(cè)量需要操作者反復(fù)進(jìn)行移動(dòng)載物臺(tái)，使用旋鈕調(diào)焦的操作，這使測(cè)量既耗時(shí)又低效。

? 很難對(duì)微小的物體聚焦，比如引線。

[STM7解決方案]快速、精準(zhǔn)的聚焦和不受操作者主觀影響的測(cè)量

奧林巴斯開(kāi)發(fā)了STM7系列專用的自動(dòng)聚焦單元，該單元在實(shí)現(xiàn)快速聚焦的同時(shí)，保障了**的對(duì)焦重復(fù)性。因此，無(wú)論操作

者的經(jīng)驗(yàn)如何，均可以在很短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測(cè)量。無(wú)論操作者的經(jīng)驗(yàn)如何，使用STM7專用自動(dòng)對(duì)焦單元均可

以在*短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測(cè)量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定對(duì)焦，而小直徑的激光，也能保證對(duì)微小物體，比如引線的自動(dòng)對(duì)焦。

單次對(duì)焦模式執(zhí)行自動(dòng)聚焦后，可瞬間完成從大致的聚焦?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)為視場(chǎng)中心的清晰對(duì)焦。

跟蹤模式啟用具有特色的追蹤模式后會(huì)隨樣品表面的高低起伏自動(dòng)對(duì)焦，即使在移動(dòng)工作臺(tái)的情況下，也可以始終保持合焦?fàn)顟B(tài)。這使得操作者在手不需要離開(kāi)X和Y手柄的情況下也能實(shí)施觀察，從而極大地提高了Z軸的測(cè)量效率。

拓寬了測(cè)量觀察范圍的配件

編碼物鏡轉(zhuǎn)換器

MM6-EMO正像單目鏡筒

STM7-FS腳踏開(kāi)關(guān)

SZ-LW61白光LED照明裝置

SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動(dòng)控制裝置

旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)

使用微調(diào)旋鈕可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的平行對(duì)齊。

測(cè)量支持系統(tǒng)

即使對(duì)復(fù)雜形狀也能實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更精確的測(cè)量

對(duì)于顯示測(cè)量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來(lái)說(shuō)，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測(cè)量。為了支持高精度、高復(fù)雜性的測(cè)量，奧林巴斯測(cè)量軟件可以和數(shù)碼照相機(jī)結(jié)合使用。

STM7規(guī)格

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

物鏡工作距離