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外延在現(xiàn)代半導(dǎo)體行業(yè)中是關(guān)鍵的一環(huán)，在其關(guān)鍵設(shè)備MOCVD中，我們的SiC涂層盤(pán)被廣泛應(yīng)用。我們的化學(xué)氣相沉積的SiC涂層解決工藝有以下幾大優(yōu)勢(shì)：
1、出色的抗熱沖擊阻力
2、出色的抗物理沖擊阻力
3、出色的耐化學(xué)性
4、超高純度
5、可加工成各種復(fù)雜的形狀
6、在氧化環(huán)境下仍然可以使用
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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