參考價(jià)格
面議型號(hào)
品牌
產(chǎn)地
北京樣本
暫無看了微波能化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),WBQXCJ-4,VKTR的用戶又看了
*留言類型
*留言內(nèi)容
*聯(lián)系人
*單位名稱
*電子郵箱
*手機(jī)號(hào)
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
需求描述
單位名稱
聯(lián)系人
聯(lián)系電話
微波材料學(xué)工作站--微波能化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
主要用途:
主要為應(yīng)用在半導(dǎo)體,大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料,石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域
產(chǎn)品特點(diǎn):
★操作便捷:氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結(jié)構(gòu),使取放物料過程簡(jiǎn)化,只需一支卡箍便可完成氣路連接,方便操作,取消了復(fù)雜的法蘭安裝過程,減少了安裝造成的損壞
★多功能:3種加熱方式可選可變:純微波、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱;適應(yīng)包括金屬與合金在內(nèi)非易燃的任何樣品的熱處理
★**開發(fā)的微波場(chǎng)專用傳感器,精準(zhǔn)控溫
★安全:**采用防止泄漏的四級(jí)聯(lián)鎖的保護(hù)屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔體設(shè)計(jì),多重防泄漏保護(hù)
*標(biāo)配裝有專業(yè)微波抑制器
*內(nèi)置微波泄漏傳感器
★節(jié)能:使用壽命長:磁控管微波加熱,避免和解決了傳統(tǒng)的加熱絲、硅碳棒、硅鉬棒等加熱元件容易損壞的問題,也避免了因加熱元件損壞而造成的時(shí)間、實(shí)驗(yàn)進(jìn)度、維修費(fèi)用等各種損失
★采用無級(jí)可調(diào)、高穩(wěn)定度長壽命、連續(xù)波微波源,確保設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定長時(shí)間運(yùn)行
★嵌入式微機(jī)一體化溫度控制系統(tǒng);實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性控溫
★無須烘爐過程:爐腔整體自身發(fā)熱,加熱均勻
★微波能量即開即有,無熱慣性,易于控制溫度
★爐體配有自動(dòng)冷卻風(fēng)扇
★保護(hù)管采用耐高溫合金管,氣管采用卡套或VCR接口,安裝簡(jiǎn)便
★配有萬向輪調(diào)節(jié)底腳,方便移動(dòng)和固定
選配功能:
1.多溫區(qū)獨(dú)立加熱模塊:型號(hào)后面加D
◆多個(gè)不同溫區(qū)獨(dú)立加熱、獨(dú)立控制,(標(biāo)配 2 個(gè)溫區(qū))
◆兩個(gè)以上溫區(qū)可額外選配
◆通常用于高溫下氣相或揮發(fā)分參與的材料合成
◆加熱區(qū)、恒溫區(qū)長度均可調(diào)。
2.可根據(jù)用戶需求定制立式或其他尺寸
技術(shù)參數(shù):
型號(hào)/model | WBQXCJ-4 | |
可加熱材料 | 非易燃易爆的任何材料 | |
微波頻率 | 2.45GHZ±50MHz | |
加熱方式 | 純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱 | |
**功率/ KW(連續(xù)、可調(diào)) | 4 | |
樣品腔尺寸/mm | 標(biāo)配Φ45mm;長度 1200mm。可根據(jù)用戶需求定制 | |
樣品腔(材質(zhì)) | 石英管 | 剛玉管 |
控溫范圍/℃ | 室溫-1200℃ | 室溫-1500℃ |
溫度測(cè)試元件 | 微波場(chǎng)專用傳感器 | |
溫度分辨率/℃ | 0.1 | |
控溫精度/℃ | 1200℃以下±1;1200℃以上±2℃ | |
溫度偏差/℃ | ||
溫度穩(wěn)定波動(dòng)度/℃ | ||
冷卻方式 | 標(biāo)配風(fēng)冷(可選配水冷) | |
恒溫區(qū)長度/mm | 標(biāo)配100 可根據(jù)用戶需求定制 | |
升溫速率(標(biāo)配) | 0~200℃/min 任意設(shè)定,可編程、分段加熱 | |
溫度控制方式 | 10段可設(shè)工藝參數(shù),7寸觸摸屏操作,帶數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能;提供手動(dòng)、自動(dòng)、恒溫控制模式,曲線實(shí)時(shí)顯示 | |
控制氣體 | 控制氣體:H2、CH4、Ar、N 2 、其它氣體可選 | |
流量控制 | 標(biāo)配 2 套質(zhì)量流量控制器:七星華創(chuàng)(真空保護(hù)閥門后置,匹配真空模式);精度:0.8% | |
**耐壓 | 1MPa;控制響應(yīng)時(shí)間:10ms | |
真空系統(tǒng)真空泵 | RVP2008;壓力范圍:10 -3 Torr~760 Torr **抽速:8.5 m 3/h | |
真空計(jì) | 數(shù)顯真空計(jì):1atm-10 -1 Pa | |
標(biāo)配 | 質(zhì)量流量自動(dòng)控制系統(tǒng)配備控制計(jì)算機(jī)及控制軟件,可以內(nèi)置實(shí)時(shí)顯示和保存生長參數(shù) | |
氣路其他配置 | 氣柜、氣路及閥門等 | |
端口 | 不銹鋼 KF50 法蘭接口 | |
電源電壓(V) | 220 | |
微波泄漏量/mW/㎝2 | ≤0.4 | |
外型尺寸(長′寬′高)/mm | 1500×750×1550 |
暫無數(shù)據(jù)!
產(chǎn)品質(zhì)量
售后服務(wù)
易用性
性價(jià)比