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晶片退火爐
設(shè)備用途：
藍(lán)寶石襯底片等晶片的退火
產(chǎn)品特點(diǎn)：
★具有超溫、斷偶、可控硅故障等報(bào)警保護(hù)，并在超溫時(shí)能自動(dòng)關(guān)閉加熱器
★自動(dòng)限流，低溫自啟動(dòng)
★異常斷電時(shí)能測(cè)量并顯示爐膛內(nèi)溫度，儀表正常顯示
★配有急停按鈕，在設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)緊急關(guān)閉停止設(shè)備工作
★爐門(mén)平行側(cè)開(kāi)，爐門(mén)打開(kāi)是熱面自動(dòng)朝里，背向操作者，并具有關(guān)閉到位自動(dòng)鎖緊裝置，防止?fàn)t膛熱損失。爐門(mén)開(kāi)度：超過(guò)爐膛50mm以上
★配有帽口煙罩，可排放灼燒廢氣，但不能影響爐膛溫場(chǎng)均勻性
★意大利進(jìn)口莫來(lái)石輕質(zhì)磚爐口堅(jiān)固耐用
★正常使用情況下，發(fā)熱元件壽命不小于3300小時(shí)
★配有萬(wàn)向底腳，方便移動(dòng)
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | VKTH-18 |
爐膛尺寸（W*D*H）mm | 300×400×300 |
電源 V （Hz） | 380 (50) |
額定功率KW | 20 |
溫度范圍 | 室溫-1800℃ |
**使用溫度 | 1700℃ |
恒溫精度 | ≤±1℃ |
溫場(chǎng)均勻度 | ≤±5℃ |
熱電偶 | B分度 |
加熱元件 | 高溫硅鉬棒 |
升溫速率： | 平均不小于5℃/min |
爐膛材質(zhì) | 陶瓷纖維 |
運(yùn)轉(zhuǎn)模式 | 程控運(yùn)轉(zhuǎn)（1-8模式）可編30段程序 |
時(shí)間設(shè)定 | 0～9999分鐘 |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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