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微波材料學工作站--微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)

主要用途：

★該系統(tǒng)既可用作傳統(tǒng)的化學氣相沉積設備，又可用作微波能化學氣相沉積設備，同時又是微波等離子化學氣相沉積設備

★主要為應用在半導體，大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料，石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領域

★該款具有高電離、高電子溫度和電子密度、適用壓強范圍寬、無內(nèi)部電極污染等優(yōu)異性能，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學氣相沉積、刻蝕以及甲烷轉化制氫、長余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結、碳納米管修飾［3］、納米粉體合成、處理水污染等領域

產(chǎn)品特點：

★垂直反應器的設計可使等離子高密度；對稱的微波發(fā)生器裝置，使產(chǎn)生的等離子環(huán)境更均勻

★諧振腔內(nèi)沒有內(nèi)部電極，可以避免電極放電所產(chǎn)生的污染，而且，它的運行氣壓范圍比較寬，所產(chǎn)生等離子體密度高、區(qū)域大，穩(wěn)定性高，且不與真空器接觸，從而避免了器壁對薄膜的污染

★操作便捷：氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結構，使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作，取消了復雜的法蘭安裝過程，減少了安裝造成的損壞

★多功能：4種加熱方式可選可變：微波等離子、純微波、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱；適應包括金屬與合金在內(nèi)非易燃的任何樣品的熱處理

★雙溫區(qū)結構：上部等離子區(qū)或加熱區(qū)下部樣品臺加熱區(qū)

★**開發(fā)的微波場專用傳感器，精準控溫

★安全：**采用防止泄漏的聯(lián)鎖保護屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔體設計，多重防泄漏保護

*標配裝有專業(yè)微波抑制器

*內(nèi)置微波泄漏傳感器

★節(jié)能：使用壽命長：磁控管微波加熱，避免和解決了傳統(tǒng)的加熱絲、硅碳棒、硅鉬棒等加熱元件容易損壞的問題，也避免了因加熱元件損壞而造成的時間、實驗進度、維修費用等各種損失

★采用無級可調(diào)、高穩(wěn)定度長壽命、連續(xù)波微波源，確保設備能夠連續(xù)穩(wěn)定長時間運行

★嵌入式微機一體化溫度控制系統(tǒng)；實現(xiàn)穩(wěn)定性控溫

★無須烘爐過程：爐腔整體自身發(fā)熱，加熱均勻

★微波能量即開即有，無熱慣性，易于控制溫度

★配有萬向輪調(diào)節(jié)底腳，方便移動和固定

技術參數(shù)：

選配功能：

質量流量控制系統(tǒng)；美國Alicat質量流量&控制器