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        NIE-3500 (MC)離子束清洗系統(tǒng)
        NIE-3500 (MC)離子束清洗系統(tǒng)

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        面議

        型號(hào)

        品牌

        產(chǎn)地

        美國(guó)

        樣本

        暫無(wú)
        那諾-馬斯特中國(guó)有限公司

        會(huì)員

        |

        第2年

        |

        生產(chǎn)商

        工商已核實(shí)

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        Ion Beam離子束清洗

        NIE-3500 (MC)離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)實(shí)現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨(dú)立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng),具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強(qiáng)大、自動(dòng)化程度高、模塊化設(shè)計(jì)易于維護(hù)、低成本的優(yōu)勢(shì)。所有核心組件均為國(guó)際知名品牌。

        NIE-3500 (MC)離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):

        • 低成本

        • 離子束:高達(dá)2KV/10mA

        • 離子電流密度100-360uA/cm2

        • 離子束直徑:4",5",6"

        • 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)

        • 極限真空5x10-7Torr

        • 260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵

        • 14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體

        • 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(tái)(NIE-3500)

        • 自動(dòng)上下載片(NIE-3500)

        • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制

        • 占地面積30"x30"

        NIE-3500 (MC)離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品應(yīng)用:

        • 表面清洗

        • 表面處理

        • 離子銑

        • 帶活性氣體的離子束刻蝕

        • 光柵刻蝕

        • SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕

        NIE-3500 (MC)離子束清洗系統(tǒng)Features:

        • Low Cost

        • Ion Beam: Up to 2KV/10mA

        • Ion Current Density 100-360 μA/cm2

        • Ion Beam Size: 4”, 5”, 6”

        • Compatible with Reactive and Non-Reactive Gases (Ar, O2, CF4,Cl2)

        • Base Pressure 5x10-7 Torr

        • 260 l/sec Corrosive Turbo Pump with 500 l/min Dry Scroll Pump

        • 14” SS or Al Chambers

        • Water Cooled Rotating/Tilted Platen (NIE-3500)

        • Auto Load and Unload (NIE-3500)

        • PC Controlled with LabVIEW Software

        • Footprint 30”x30”

        NIE-3500 (MC)離子束清洗系統(tǒng)Applications:

        • Surface Cleaning

        • Surface Treatment

        • Ion Beam Milling

        • Ion Beam Etching with Reactive Gases:

          Grating

          Deep Trenches on SiO2, Si and metals

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        產(chǎn)品質(zhì)量

        10分

        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價(jià)比

        10分
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