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氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制的設(shè)備。
S49 33/MT質(zhì)量流量控制器(流量計)特點：
*閥體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等。線路板、閥體、彈簧片、精密電阻和resistor等為重要零部件，均執(zhí)行嚴格的入廠標準。
*適用于各種腐蝕性氣體
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準 *高精度 *重復(fù)性好 *響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠 *低壓降
*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安裝
*便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制。
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