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體質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）（Mass gas flow controller（meter））縮寫(xiě)為MFC(MFM)）是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn) *高精度 *重復(fù)性好 *響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠 *低壓降
*操作使用方便，可任意位置安裝
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