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立陶宛Workshop of Photonics公司從2003年進入飛秒激光微加工領域，成為全球**的飛秒激光微加工設備以及解決方案提供商。
WOP主要業(yè)務包括：飛秒激光微加工可行性分析，定制飛秒激光系統(tǒng)和光學組件，激光微加工車間，激光微加工自動化軟件，定制激光系統(tǒng)和設備控制電路。
■ 飛秒激光加工系統(tǒng) FemtoFAB
FemtoFAB是一款工業(yè)用飛秒激光微加工設備。配置選定后，根據(jù)客戶特定激光加工應用調(diào)試，包括對任何材料激光切割，激光劃片，激光鉆孔，3D激光銑削（使用的激光峰值功率>2.4GW）。系統(tǒng)使用Class 1激光安全防護罩，通過單個SCA工程軟件窗口控制。
FemtoFAB提供激光同步移動控制和/或集成掃描振鏡系統(tǒng)控制，對不同工業(yè)微加工應用，提供**的速度和精度參數(shù)。產(chǎn)品在立陶宛設計和裝配。
產(chǎn)品特點：
●高加工速度，**350000px/s
●加工不同物體亞微米分辨率
●飛秒加工模式具有*小熱影響區(qū)
●直驅亞微米精度位移臺
●使用高性能掃描振鏡精細激光束控制
●點數(shù)控制（單點到350KHz）
●激光脈沖和移動物體在空間和時間上同步
●原版軟件界面控制所有集成的硬件設備
產(chǎn)品應用：
●微光學
●光伏產(chǎn)業(yè)
●多光子聚合
●生物醫(yī)學技術傳感器
●其他精細微加工任務
樣品特性
材料 | 固體材料，液態(tài)聚合物 |
尺寸（mm） | 150×150×150 |
光束成型和控制 | |
脈沖選擇 | 集成、自動控制 |
掃描振鏡 | 10m/s掃描速度，5×5 |
聚焦 | 高NA非球面鏡或物鏡，焦長1.45-18.4mm |
SLM（選配） | 1920×1080，15.36mm×8.64mm，16bit，反射式 |
位置 | |
類型 | XYZ，線性電機，交叉定位，空氣軸承（選配） |
加工速度 | 350mm/s |
工作區(qū)域（mm） | 160×160 |
分辨率（nm） | 1 |
位置精度（nm） | ±300 |
重復性（nm） | ±50 |
穩(wěn)定度（nm） | 3 |
樣品支架 | 真空夾頭 |
激光參數(shù) | |
激光介質 | Yb:KGW |
波長 | 1028±5nm |
功率（W） | 4（6，8，10選配） |
振蕩器輸出功率（W） | 0.7-1.5 |
脈沖能量（mJ） | 1 |
重頻（KHz） | 200（600，1000選配） |
脈寬 | <200fs-10ps（可調(diào)）；<80fs（振蕩器） |
光束質量 | M2<1.2 |
輸出脈沖穩(wěn)定性 | <1%RMS |
諧波產(chǎn)生器 | |
諧波 | SH（515nm），TH（343nm）選配，F(xiàn)H（258nm）選配 |
轉換效率（@200KHz） | >50%（SH），>30%（TH）選配，>10%（FH）選配 |
諧波產(chǎn)生器 | |
功率控制 | 激光輸出，電動衰減器 |
位移臺控制 | 2.5D微加工，3D XYZ指令 |
控制界面 | 算法窗口，虛擬或GUI操縱桿 |
圖形或矢量格式 | .bmp，.plt |
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