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膜厚測(cè)量?jī)x
通過(guò)薄膜表面與基底材料反射光的干涉現(xiàn)象,可快速可靠地測(cè)量半透明及透明膜的厚度。非接觸式測(cè)量,不會(huì)破壞測(cè)試樣品。
NanoCalc測(cè)試系統(tǒng)主要包括:寬帶光源、高性能線(xiàn)陣CCD光譜儀、傳輸光纖、樣品測(cè)試臺(tái)及測(cè)量分析軟件。NanoCalc膜厚測(cè)量?jī)x適合于在線(xiàn)膜厚測(cè)量,包括氧化層、氮化硅薄膜,感光膠片及其它類(lèi)型的薄膜,NanoCalc也可測(cè)量在鋼、鋁、銅、陶瓷等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗膜涂層。
NanoCalc膜厚儀基本性能:
●基本型號(hào):NanoCalc-UV/VIS/NIR & NanoCalc-UV/VIS & NanoCalc-VIS/NIR
●光譜范圍:250~1100nm(UV/VIS/NIR) & 900-1700nm(512-NIR)
●膜厚分辨率:0.1nm
●測(cè)量時(shí)間:100ms~1s
●多達(dá)10層膜厚測(cè)量
●快速響應(yīng):在線(xiàn)測(cè)量
●基底材料:鋼/鋁/銅/陶瓷/塑料等
●新型號(hào):NanoCalc-MIK中整合攝影機(jī)
●材料庫(kù): 400種材料的n和k值且可添加
●應(yīng)用場(chǎng)合:氧化物/SiNx/感光保護(hù)膜/半導(dǎo)體膜
NanoCalc膜厚儀應(yīng)用軟件◆膜厚測(cè)量/n&k值測(cè)量◆用戶(hù)自定義材料層結(jié)構(gòu)◆自動(dòng)調(diào)整積分時(shí)間◆層材料信息分層顯示
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