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立陶宛Workshop of Photonics公司從2003年進(jìn)入飛秒激光微加工領(lǐng)域,成為全球**的飛秒激光微加工設(shè)備以及解決方案提供商。
WOP主要業(yè)務(wù)包括:飛秒激光微加工可行性分析,定制飛秒激光系統(tǒng)和光學(xué)組件,激光微加工車間,激光微加工自動化軟件,定制激光系統(tǒng)和設(shè)備控制電路。
■ 光伏電池飛秒激光工作站 SOLLAS
SOLLAS是WOP專門為硅基太陽能電池行業(yè)開發(fā)的激光加工機(jī)床,配置有飛秒紫外激光器和納秒紅外激光器,具有多任務(wù)操作功能,用于工業(yè)和研究,**產(chǎn)能3MW/a。
產(chǎn)品特點:
●工業(yè)研究生產(chǎn)線產(chǎn)量2.5 MW/a
●飛秒紫外和納秒紅外激光源
●機(jī)器視覺系統(tǒng)探測旋轉(zhuǎn)和調(diào)整激光掃描區(qū)域
●使用高性能掃描振鏡精細(xì)激光束控制
●5”和6”晶圓加工
●生產(chǎn)模式下直觀的觸摸屏用戶使用界面(SCA工程設(shè)計)
●研究模式下全功能軟件(SCA工程設(shè)計)
SOLLAS 執(zhí)行4項工藝:
●選擇性刻蝕SiNx/SiO2
●后觸點激光燒制
●邊緣絕緣處理
●激光標(biāo)刻
●可行性測試后整合其他加工過程
暫無數(shù)據(jù)!