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            1200高真空PECVD系統(tǒng)
            1200高真空PECVD系統(tǒng)

            參考價(jià)格

            面議

            型號(hào)

            品牌

            產(chǎn)地

            上海

            樣本

            暫無(wú)
            上海煜志科技有限公司(杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司)

            會(huì)員

            |

            第2年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實(shí)

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            簡(jiǎn)介

            PECVD工藝中由于等離子體中高速運(yùn)動(dòng)的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子,就會(huì)使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng);借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜;具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn);

            1200℃高真空PECVD系統(tǒng)通過(guò)滑動(dòng)爐體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速的升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到理想的真空度;同時(shí)通過(guò)多路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。 主要應(yīng)用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長(zhǎng)薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。同時(shí)上海煜志良好的售后服務(wù),使得該產(chǎn)品的整體評(píng)價(jià)遠(yuǎn)超同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

            主要技術(shù)參數(shù)

            爐體結(jié)構(gòu)

            整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu);

            日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好;

            爐子底部裝有一對(duì)滑軌,移動(dòng)平穩(wěn);

            爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端,實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻;

            爐蓋可開啟,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

            尺寸重量

            1730*660*1130mm;凈重:210kg

            電源

            電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

            爐管

            高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小;

            尺寸:Φ60*1300mm

            法蘭及支撐

            SUS304不銹鋼快速法蘭,通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空;

            一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷;

            可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐;

            包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

            加熱系統(tǒng)

            加熱元件采用康泰爾發(fā)熱絲,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用;

            加熱區(qū)長(zhǎng)度:300mm

            恒溫區(qū)長(zhǎng)度:150mm;

            工作溫度:≤1150℃;

            **溫度:1200℃;

            升溫速率:10℃/min

            溫控系統(tǒng)

            日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分步、分段

            混氣系統(tǒng)

            三路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制;內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥;管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套;每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥;通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量流量規(guī)格:0~1000sccm(可選); 流量精度:±1.5%

            高真空系統(tǒng)

            采用雙級(jí)旋片真空泵+分子泵,極限真空可達(dá)4.0*10^-4Pa; 復(fù)合真空計(jì),配置電阻規(guī)+電離規(guī)

            抽速:110L/S; 冷卻:風(fēng)冷; 電源:AC220V 50/60Hz

            射頻電源系統(tǒng)

            輸出功率:0-300W;功率穩(wěn)定度:±0.1%;射頻電源頻率:13.56MHz 穩(wěn)定性±0.005%;**反向功率:120W;射頻電源電子輸出端口:UHF; 冷卻:風(fēng)冷; 電源:AC187-253V 50/60Hz

            可選配件

            各種剛玉、石英坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件

            保修卡

            整機(jī)一年保修(相關(guān)耗材除外)

            可根據(jù)客戶要求定制!

            創(chuàng)新點(diǎn)

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            產(chǎn)品質(zhì)量

            10分

            售后服務(wù)

            10分

            易用性

            10分

            性價(jià)比

            10分
            評(píng)論內(nèi)容
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