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PCE-3等離子清洗機使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機物污染,在射頻電源的作用下,**去除速率為10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理,將對生長具有顯著的作用。
主要特點
1、使用可調射頻電源,可以設置低、中、高功率。
2、桌上型設備,結構緊湊、操作安全、環(huán)境友好、低成本。
技術參數(shù)
1、輸入電壓:110V/220V、50Hz/60Hz (請?zhí)崆斑x定),小于100W
2、輸出功率:13.56MHz
3、等離子直流電源:低功率設定—680V,10mA,6.8W;中功率設定—700V,15mA,10.5W;
高功率設定—720V,25mA,18W
4、等離子腔室:Φ75mm×165mm,耐熱玻璃,前蓋可拆卸
5、通入氣體:可通入多種氣體,如N2、Ar、空氣、混合氣體等,主要根據(jù)處理材料性質所定
6、真空泵和閥的要求:>160L/min,極限壓力200mtorr(0.27mbar),可選擇數(shù)字真空表,針閥控制氣體流量,采用三通閥門 快速控制進氣、密封等離子腔室、排氣
清洗及蝕刻
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸:200mm×250mm×210mm
重量:8kg(不含泵)
注意事項
不能使用可燃性氣體
可選配件
本司研發(fā)的電阻真空計
以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下提現(xiàn)的熱傳導性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器,特別適應于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測量。
暫無數(shù)據(jù)!