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PCE-8等離子清洗機(jī)是一款較大型的等離子清洗機(jī)，等離子腔體為Φ8.5 "×12"的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

主要特點(diǎn)

1、采用6″彩色觸摸屏，可控制射頻功率、清洗時(shí)間、氣體流量、真空泵的開啟等。

2、內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計(jì)，可以精確地控制進(jìn)氣流量。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC220V

2、射頻功率：**100W，可在0-100W間調(diào)節(jié)

3、真空泵功率：<500W

4、總功率：<600W

5、射頻：13.56MHz

6、等離子腔體：高純石英腔體，外徑Φ8.5 "，內(nèi)徑Φ8.2 "，長12"，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行真空密封，法蘭設(shè)有一個(gè)

Φ60mm的觀察窗口

7、極限真空度：50mtorr

8、通入氣體：可通入多種氣體，如N₂、Ar、Air、H₂、O₂和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：620mm×450mm×600mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

1、直連式雙旋真空泵（240L/min）

2、KF25波紋管

3、KF25手動(dòng)擋板閥

可選配件

1、300W、600W射頻電源（進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗(yàn)）

2、2″-6″石英舟（盛放基片）

3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng)

4、2-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)